恭喜本源量子计算科技(合肥)股份有限公司孔伟成获国家专利权
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龙图腾网恭喜本源量子计算科技(合肥)股份有限公司申请的专利一种化学气相沉积生产石墨烯异质结的装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110042368B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910397618.9,技术领域涉及:C23C16/48;该发明授权一种化学气相沉积生产石墨烯异质结的装置是由孔伟成;赵勇杰设计研发完成,并于2019-05-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学气相沉积生产石墨烯异质结的装置在说明书摘要公布了:本发明属于化学气相沉积领域,具体公开了一种化学气相沉积生产石墨烯异质结的装置,包括:设置在竖直方向上的彼此相对的可升降的上加热器和可升降的下加热器;支撑架,固定设置在所述下加热器上;托盘,设置在所述支撑架远离所述下加热器的一侧,用于承载基板;悬浮催化剂装置,用于提供催化剂至所述基板正上方;所述支撑架平行所述下加热器和所述托盘两者的横截面的尺寸从所述下加热器至所述托盘逐渐减小,且所述托盘用于承载基板的表面高于所述支撑架;所述支撑架可导电,所述基板通过所述托盘内嵌装的导电线电连接所述支撑架。本发明能够提高石墨烯异质结的质量保证。
本发明授权一种化学气相沉积生产石墨烯异质结的装置在权利要求书中公布了:1.一种化学气相沉积生产石墨烯异质结的装置,其特征在于,所述装置包括:设置在竖直方向上的彼此相对的可升降的上加热器(1)和可升降的下加热器(2);支撑架(3),固定设置在所述下加热器(2)上,且位于所述下加热器(2)和所述上加热器(1)之间;托盘(4),设置在所述支撑架(3)远离所述下加热器(2)的一侧,用于承载基板;悬浮催化剂装置(6),用于提供催化剂至所述基板正上方;所述支撑架(3)的平行所述下加热器(2)和所述托盘两者的横截面的尺寸从所述下加热器(2)至所述托盘(4)逐渐减小,且所述托盘(4)用于承载基板的表面高于所述支撑架(3);所述支撑架(3)可导电,所述基板通过所述托盘(4)内嵌装的导电线电连接所述支撑架(3);所述支撑架(3)包括多根第一支撑柱(31);各所述第一支撑柱(31)均匀设置在所述下加热器(2)上,并背离所述下加热器(2)延伸,并共同连接且承载所述托盘(4);任意两相邻所述第一支撑柱(31)之间均设置有子架(33);所述子架(33)包括交叉设置的第一纵柱(331)和第一横柱(332);所述第一纵柱(331)的一端固定连接所述下加热器(2),所述第一纵柱(331)的另一端固定连接所述第一横柱(332)的中间部位,所述第一横柱(332)的两端分别固定连接两相邻的所述第一支撑柱(31);所述第一横柱(332)包括两固定连接的第一子横柱;所述第一子横柱的一端固定连接与之相邻的所述第一支撑柱(31),所述第一子横柱的另一端固定连接与之相邻的所述第一纵柱(331);两所述第一子横柱之间成一定夹角。
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