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恭喜深圳市晶存科技股份有限公司刘孜获国家专利权

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龙图腾网恭喜深圳市晶存科技股份有限公司申请的专利对单晶粒的Pattern测试方法及装置、设备、介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119511052B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510082278.6,技术领域涉及:G01R31/28;该发明授权对单晶粒的Pattern测试方法及装置、设备、介质是由刘孜设计研发完成,并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。

对单晶粒的Pattern测试方法及装置、设备、介质在说明书摘要公布了:本申请公开了一种对单晶粒的Pattern测试方法及装置、设备、介质,涉及晶圆测试技术领域。方法包括:当待测晶圆中单个待测的第一晶粒的第一待测容量大于预设容量阈值,获取当前的第一传参文件;第一传参文件包括:第一算法选择信息和预设差值;根据第一待测容量与预设容量阈值之间的第一容量差值、预设差值,对第一算法选择信息进行更新得到第二算法选择信息和更新的第二传参文件;根据第二算法选择信息从多个不同的候选Pattern测试算法中确定并启动一个目标Pattern测试算法;根据第二传参文件和目标Pattern测试算法,分区域对第一晶粒进行Pattern测试,完成单晶粒测试。能提高单晶粒测试效率。

本发明授权对单晶粒的Pattern测试方法及装置、设备、介质在权利要求书中公布了:1.一种对单晶粒的Pattern测试方法,其特征在于,包括:从待测晶圆中确定待测的第一晶粒,并确定单个所述第一晶粒的第一待测容量;当所述第一待测容量大于预设容量阈值,获取当前的第一传参文件;其中,所述第一传参文件包括:第一算法选择信息和预设差值;所述第一算法选择信息为全0的二进制数据,所述二进制数据的位数与候选Pattern测试算法当前的第一总数量相同;根据所述第一待测容量与所述预设容量阈值之间的第一容量差值、所述预设差值,对所述第一算法选择信息进行更新处理,得到第二算法选择信息和包括所述第二算法选择信息的更新的第二传参文件;运行解析所述第二传参文件,根据所述第二算法选择信息从多个不同的候选Pattern测试算法中确定并启动一个目标Pattern测试算法;根据所述第二传参文件和所述目标Pattern测试算法,分区域对待测的所述第一晶粒进行Pattern测试,完成单晶粒测试。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市晶存科技股份有限公司,其通讯地址为:518048 广东省深圳市福田区福保街道福保社区市花路创凌通科技大厦三层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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