买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜华海清科(北京)科技有限公司申请的专利一种晶圆后处理装置和后处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119542205B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510081400.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆后处理装置和后处理方法是由张美美;王延华;徐俊成设计研发完成，并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆后处理装置和后处理方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆后处理装置和后处理方法，涉及半导体制造技术领域，所述晶圆后处理装置包括：箱体；夹持组件，设置于箱体中，用于水平夹持并驱动晶圆旋转；后处理组件，包括喷淋头，其设置于所述夹持组件的上方，所述喷淋头配置的药液出口端朝向晶圆喷淋液体和或气体，以清洁晶圆表面；所述喷淋头朝向晶圆喷淋保护气体，以在喷淋药液的上方形成保护气帘，进而阻隔箱体中的雾气及颗粒与药液接触；所述喷淋头包括：喷淋座，其内部形成有容纳腔；芯部，设置于所述容纳腔中；药液管，其经由所述芯部的安装孔向下延伸设置；所述药液管与安装孔之间设置有第一间隙，所述保护气体经由所述第一间隙向下传输。

本发明授权一种晶圆后处理装置和后处理方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆后处理装置，其特征在于，包括：箱体；夹持组件，设置于箱体中，用于水平夹持并驱动晶圆旋转；后处理组件，包括喷淋头，其设置于所述夹持组件的上方，所述喷淋头配置的药液出口端朝向晶圆喷淋液体和或气体，以清洁晶圆表面；所述喷淋头朝向晶圆喷淋保护气体，以在喷淋药液的上方形成保护气帘，进而阻隔箱体中的雾气及颗粒与药液接触；所述喷淋头包括：喷淋座，其内部形成有容纳腔，其配置有进气孔；芯部，间隔设置于所述容纳腔中，两者形成间隔腔；所述芯部的下方配置有隔离板，其与喷淋座之间设置有第二间隙；药液管，其经由所述芯部的安装孔向下延伸设置；所述药液管与安装孔之间设置有第一间隙，所述保护气体经由第一间隙及间隔腔向下传输；所述进气孔与间隔腔相连通，所述保护气体经由进气孔输送至间隔腔，并经由第二间隙朝向喷淋头的外侧传输；所述芯部为环状结构，其内部配置有与安装孔连通的中心腔，所述药液管经由安装孔延伸至中心腔中；所述喷淋头还包括滤板，其水平设置于中心腔中，以将中心腔分隔为上中心腔和下中心腔，所述药液管的药液出口端位于下中心腔中；所述滤板配置有贯通的、孔径由内向外逐渐增大的滤孔，使得气体在滤板下方的晶圆表面汇聚；所述滤孔为锥形孔，其孔径由上至下逐渐变小。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华海清科(北京)科技有限公司，其通讯地址为：100000 北京市大兴区经济技术开发区地盛北街1号院40号楼11层1107室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。