恭喜华海清科股份有限公司慈荣广获国家专利权
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龙图腾网恭喜华海清科股份有限公司申请的专利晶圆加工方法和晶圆加工装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119381320B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411959834.5，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆加工方法和晶圆加工装置是由慈荣广;马旭;赵德文;路新春设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆加工方法和晶圆加工装置在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆加工方法和晶圆加工装置。晶圆取片方法用于从真空吸盘夹取晶圆，其中，所述方法包括以下步骤：步骤I：使用机械手平行于所述晶圆与所述真空吸盘的接触面移动所述晶圆，以减小所述晶圆与所述真空吸盘之间的水膜的面积；步骤II：使所述晶圆远离所述真空吸盘，断开水膜；步骤III：取走晶圆。本发明在从真空吸盘夹取晶圆时有效减少了水膜张力，有助于保护抛光机械手及晶圆。
本发明授权晶圆加工方法和晶圆加工装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆取片方法，其特征在于，所述方法利用机械手（4）的卡爪从真空吸盘（1）夹取晶圆（2），所述方法包括以下步骤：步骤I：使用机械手（4）平行于所述晶圆（2）与所述真空吸盘（1）的接触面移动所述晶圆（2），以减小所述晶圆（2）与所述真空吸盘（1）之间的水膜（3）的面积；步骤II：使所述晶圆（2）远离所述真空吸盘（1），断开水膜；步骤III：取走晶圆（2）；在所述步骤I中，平行于所述晶圆（2）与所述真空吸盘（1）的接触面移动所述晶圆（2）包括：平行于所述晶圆（2）与所述真空吸盘（1）的接触面平移或摆动所述晶圆（2）；所述方法还包括：在所述步骤I之前，使用所述机械手（4）搬运所述晶圆（2），使所述晶圆（2）垂直远离所述真空吸盘（1）200um~400um的距离，在所述距离内所述水膜不断开。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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