恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所张建伟获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利基于光束角度调控的集成式半导体激光器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119362161B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411904637.3,技术领域涉及:H01S5/40;该发明授权基于光束角度调控的集成式半导体激光器及其制备方法是由张建伟;徐玥辉;刘天娇;周寅利;陈超;张卓;吴昊;宁永强;王立军设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于光束角度调控的集成式半导体激光器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体激光器技术领域,尤其涉及一种基于光束角度调控的集成式半导体激光器及其制备方法,集成式半导体激光器包括边发射激光器阵列,各个边发射激光器的出光端围成一个空间,在该空间内制备有光束角度调控结构,光束角度调控结构包括形变材料层和制备在形变材料层表面的反射膜,通过控制形变材料层的形变量,调节反射膜对各个边发射激光器输出激光的反射角度。本发明基于同一衬底制备光束角度调控结构与输出多波长光束的边发射激光器阵列,在实现边发射激光器二维集成的同时,利用光束角度调控结构改变多波长光束的传播方向并调控多波长光束的角度,达到兼顾二维集成光束方向可调控与高功率单模多波长输出的目的。
本发明授权基于光束角度调控的集成式半导体激光器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于光束角度调控的集成式半导体激光器,其特征在于,包括边发射激光器阵列,各个边发射激光器的出光端围成一个空间,在该空间内制备有光束角度调控结构,光束角度调控结构包括形变材料层和制备在形变材料层表面的反射膜,通过控制形变材料层的形变量,调节反射膜对各个边发射激光器输出激光的反射角度;当边发射激光器阵列排布成一层时,在形变材料层的顶面制备有光束汇聚结构;当边发射激光器阵列排布成两层及两层以上时,在位于顶层的形变材料层的顶面制备有光束汇聚结构;形变材料层为圆台结构或棱台结构,形变材料层顶面制备的反射膜与光束汇聚结构之间构成平凹腔。
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