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龙图腾网恭喜研微(江苏)半导体科技有限公司申请的专利用于半导体处理设备的物料调度方法和半导体处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119168328B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411649606.8，技术领域涉及：G06Q10/0631；该发明授权用于半导体处理设备的物料调度方法和半导体处理设备是由陆柏耆;王逸帆;齐明;王传道设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于半导体处理设备的物料调度方法和半导体处理设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种用于半导体处理设备的物料调度方法和半导体处理设备。该方法包括获取待调度物料的第一批次信息，第一批次信息与每个实际物料在半导体处理设备中的工艺相关；根据第一批次信息计算虚拟物料的数量，并构建虚拟物料的第二批次信息，第二批次信息与每个虚拟物料在第三单元的状态切换相关；构建任务调度模型，将第一批次信息和第二批次信息作为任务调度模型的输入，任务调度模型的目标函数是使待调度物料在半导体处理设备中的处理时长最短，任务调度模型的约束条件与第一批次信息和第二批次信息相关联，任务调度模型用于输出满足目标函数的待调度物料的决策变量。

本发明授权用于半导体处理设备的物料调度方法和半导体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体处理设备的物料调度方法，其特征在于，所述半导体处理设备包括第一单元、第二单元和第三单元，所述第一单元处于第一态，所述第二单元处于第二态，所述第三单元能够在所述第一态和第二态之间切换，其中，所述半导体处理设备用于同时调度处理多个待调度物料；所述待调度物料在所述第一单元和所述第二单元之间传输时，需通过所述第三单元并在所述第三单元中做状态切换；所述物料调度方法包括：获取所述待调度物料的第一批次信息，所述待调度物料包括至少两个实际物料，所述第一批次信息与每个所述实际物料在所述半导体处理设备中的工艺相关；根据所述第一批次信息计算虚拟物料的数量，并构建所述虚拟物料的第二批次信息，所述第二批次信息与每个所述虚拟物料在所述第三单元的状态切换相关；构建任务调度模型，所述任务调度模型是混合整数规划模型，将所述第一批次信息和所述第二批次信息作为所述任务调度模型的输入，所述任务调度模型的目标函数是使所述待调度物料在所述半导体处理设备中的处理时长最短，所述任务调度模型的约束条件与所述第一批次信息和所述第二批次信息相关联，所述任务调度模型用于输出满足所述目标函数的所述待调度物料的决策变量；其中，根据所述第一批次信息计算虚拟物料的数量包括：根据所述实际物料在所述第一单元中的第一工艺时长相对于所述第三单元的状态切换时长的比值、所述第三单元可容纳物料的容量计算虚拟物料的数量，其中，所述比值与所述虚拟物料的数量正相关，所述容量与所述虚拟物料的数量负相关。

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