恭喜深圳市中科光芯半导体科技有限公司郑君雄获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市中科光芯半导体科技有限公司申请的专利一种掩膜版及VCSEL芯片获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222867001U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422228743.6，技术领域涉及：G03F1/76；该实用新型一种掩膜版及VCSEL芯片是由郑君雄;董波设计研发完成，并于2024-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩膜版及VCSEL芯片在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光纤通信和半导体激光器技术领域，具体地，涉及掩膜版及VCSEL芯片。掩膜版，用于VCSEL芯片光刻图案，包括：基板和图案层，所述图案层设在所述基板的一侧面；其中，所述图案层远离所述基板的侧面设置有多个凸起结构，并且，所述凸起结构沿直线方向依次并排的设置，并且在所述凸起结构的表面均匀设置凸台。实施例，是在基板的上方设置图案层，并且，所述图案层远离所述基板的侧面设置有多个凸起结构，并且，所述凸起结构沿直线方向依次并排的设置，并且在所述凸起结构的表面均匀设置凸台。如此可以将图案层的凸起结构及凸起结构上的凸台，通过蚀刻技术在P型DBR层得到所需的结构，从而使得VCSEL芯片具有更好的散热效果，同时减小VCSEL芯片的内阻。
本实用新型一种掩膜版及VCSEL芯片在权利要求书中公布了：1.一种掩膜版，用于VCSEL芯片光刻图案，其特征在于，包括：基板和图案层，所述图案层设在所述基板的一侧面；其中，所述图案层远离所述基板的侧面设置有多个凸起结构，并且，所述凸起结构沿直线方向依次并排的设置，并且在所述凸起结构的表面均匀设置凸台。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市中科光芯半导体科技有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市龙岗区宝龙街道宝龙社区宝龙四路2号安博科技宝龙厂区6号厂房101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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