上海陆派实业有限公司俞素珍获国家专利权
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龙图腾网获悉上海陆派实业有限公司申请的专利一种晶圆沉积覆盖环获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222861622U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421923733.8，技术领域涉及：C23C14/56；该实用新型一种晶圆沉积覆盖环是由俞素珍设计研发完成，并于2024-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆沉积覆盖环在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆沉积覆盖环，包括环体，环体内壁开设有圆槽；环体底壁上设置有内环，内环为与环体同一圆心的环形结构，内环的截面为L形。显著提高了散热速度，防止了过高的温度积累，保持工艺过程中的稳定温度，并且避免了由于温度过高导致的晶须和黑点问题，从而提高了产品的良率。通过在环体底壁的两面不同的槽设计，能够让环体在实施过程中更快地散热，冷却时间减少，能够进一步减少温度波动带来的工艺不稳定性，提高了工艺的稳定性和可靠性。
本实用新型一种晶圆沉积覆盖环在权利要求书中公布了：1.一种晶圆沉积覆盖环，其特征在于，包括环体1，环体1内壁开设有圆槽2；环体1底壁上设置有内环3，内环3为与环体1同一圆心的环形结构，内环3的截面为L形。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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