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龙图腾网获悉深圳市弘测精密科技有限公司申请的专利一种微机电垂直式探针卡的检测系统及检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118671474B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410693447.5，技术领域涉及：G01R31/00；该发明授权一种微机电垂直式探针卡的检测系统及检测方法是由江敏圳设计研发完成，并于2024-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种微机电垂直式探针卡的检测系统及检测方法在说明书摘要公布了：本发明涉及微机电系统测试技术领域，具体涉及一种微机电垂直式探针卡的检测系统及检测方法，包括探针卡模块、电变量测量模块、磁变量测量模块、高频响应模块、数据处理模块以及控制模块；其中，探针卡模块：配置有多组垂直排列的微探针；电变量测量模块：用于测量和分析从探针卡模块传来的电参数变化数据；磁变量测量模块：用于测量和调整微机电元件在磁场中的响应变化；高频响应模块：用于捕捉在高频电信号激励下的动态响应；数据处理模块：提取微机电元件的综合性能指标。本发明，实现了电参数、磁响应和高频动态响应的全面测量和分析，并通过优化控制确保系统在最佳状态下运行，从而提高了测试的准确性、全面性和效率。

本发明授权一种微机电垂直式探针卡的检测系统及检测方法在权利要求书中公布了：1.一种微机电垂直式探针卡的检测系统，其特征在于，包括探针卡模块、电变量测量模块、磁变量测量模块、高频响应模块、数据处理模块以及控制模块；其中，探针卡模块：配置有多组垂直排列的微探针，每组微探针由多层导电材料和绝缘材料交替构成，以适应不同的电压和电流测试需求；电变量测量模块：连接至探针卡模块，用于测量和分析从探针卡模块传来的电参数变化数据，包括电阻、电容、电感和电位差；磁变量测量模块：连接至探针卡模块，用于测量和调整微机电元件在磁场中的响应变化，包括磁场强度的调节功能；高频响应模块：与探针卡模块电连接，接收从磁变量测量模块调整后的磁场数据，用于捕捉和分析微机电元件在高频电信号激励下的动态响应；数据处理模块：与电变量测量模块、磁变量测量模块及高频响应模块电连接，综合接收各模块的数据，通过预设算法进行数据融合与分析，以提取微机电元件的综合性能指标，并根据该综合性能指标优化测试参数；控制模块：与数据处理模块连接，根据数据处理模块提供的优化测试参数，自动调整探针卡模块的操作，以及电变量和磁变量测量模块的设置，确保整个系统在最佳状态下运行。

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