济南量子技术研究院;合肥国家实验室秦文斌获国家专利权
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龙图腾网获悉济南量子技术研究院;合肥国家实验室申请的专利薄膜沉积用晶片定位夹持装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222867658U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421177737.6，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型薄膜沉积用晶片定位夹持装置是由秦文斌;宿非凡;邓辉;严凯;荣皓;张海斌;燕军祥设计研发完成，并于2024-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本薄膜沉积用晶片定位夹持装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种薄膜沉积用晶片定位夹持装置，包括底座，底座上沿第一方向导向滑移装配有主动定位块和从动定位块，二者沿同一路径间隔布置，底座上还设有用于驱动主动定位块往复移动的驱动机构，主动定位块与从动定位块之间、以及从动定位块与相邻的所述底座的侧壁之间的空间构成用于定位夹持晶圆的定位空间，底座、从动定位块、主动定位块的夹持晶片的侧壁的高度不高于待定位的晶片的上表面高度，主动定位块移动时可通过晶片推动从动定位块朝向底座的所述侧壁靠近以将各个定位空间的晶片水平夹持固定。解决了常规固定件压边过大和固定件过高遮挡沉积的问题。晶片表面无任何遮挡，可适用于复杂角度沉积，角度工艺窗口大。
本实用新型薄膜沉积用晶片定位夹持装置在权利要求书中公布了：1.薄膜沉积用晶片定位夹持装置，其特征在于，包括底座，底座上沿第一方向导向滑移装配有主动定位块和从动定位块，二者沿同一路径间隔布置，底座上还设有用于驱动主动定位块往复移动的驱动机构，主动定位块与从动定位块之间、以及从动定位块与相邻的所述底座的侧壁之间的空间构成用于定位夹持晶圆的定位空间，底座、从动定位块、主动定位块的夹持晶片的侧壁的高度不高于待定位的晶片的上表面高度，主动定位块移动时可通过晶片推动从动定位块朝向底座的所述侧壁靠近以将各个定位空间的晶片水平夹持固定。
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