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龙图腾网恭喜苏州芯睿科技有限公司申请的专利一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115497861B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211055077.X，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构是由邱新智设计研发完成，并于2022-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构在说明书摘要公布了：本发明属于吸盘模组防变形领域，尤其是一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构，针对目前市场上的现有吸盘组，使用易变形，不方便调节而且无法保证吸盘底端完全平行的情况，现提出如下方案：一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构，包括安装板，所述安装板的下端固定设置有横板，所述横板的下端固定设置有连接筒，所述连接筒的下端固定设置有套筒，所述套筒的内壁固定设置有固定板。本发明中，通过设置有双层导向装置，在吸盘工作时可以很好的保证不会因为长时间工作导致晃动，变形的情况发生，而且设置有红外线设备，以及标记线，当单个吸盘变形时，可以根据红外线照射点来进行手动调节。

本发明授权一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构，包括安装板（1），其特征在于，所述安装板（1）的下端固定设置有横板（3），所述横板（3）的下端固定设置有连接筒（4），所述连接筒（4）的下端固定设置有套筒（5），所述套筒（5）的内壁固定设置有固定板（6），所述套筒（5）的上端内壁固定设置有螺纹杆（7），所述螺纹杆（7）的外壁固定设置有从动齿轮（8），所述螺纹杆（7）的外壁滑动套设有螺纹滑套（11），所述螺纹滑套（11）的一侧固定设置有连接块（12），所述连接块（12）的一侧固定设置有移动杆（13），所述固定板（6）的内部开设有限位孔（14），所述移动杆（13）的下端固定设置有固定座（15）；所述固定座（15）的下端固定设置有吸盘连接板（16），所述吸盘连接板（16）的两侧均固定设置有限位杆（17），所述套筒（5）的内壁开设有限位槽（18），所述套筒（5）的两侧外壁均固定设置有竖板（20），所述竖板（20）的两侧开设有导向槽（22），所述导向槽（22）的内部滑动设置有导向板（21），所述横板（3）的下端固定设置有支撑柱（24），所述支撑柱（24）的下端外壁固定设置有固定套（25），所述固定套（25）的两侧均固定设置有红外线设备（26），所述套筒（5）的一侧设置有转动杆（9），所述转动杆（9）靠近从动齿轮（8）的一端外壁固定设置有主动齿轮（10），所述主动齿轮（10）与从动齿轮（8）啮合，所述转动杆（9）远离从动齿轮（8）的一端固定设置有转动块（27）。

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