恭喜华海清科股份有限公司吴兴获国家专利权
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龙图腾网恭喜华海清科股份有限公司申请的专利晶圆装卸装置及化学机械抛光系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115101459B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210677124.8，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆装卸装置及化学机械抛光系统是由吴兴;许振杰;王同庆;路新春设计研发完成，并于2022-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆装卸装置及化学机械抛光系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆装卸装置及化学机械抛光系统，所述晶圆装卸装置包括：托架，用于装载和或卸载晶圆；托架座，连接于托架下方，用于支撑托架；支座，位于托架座下方并与托架座铰接；驱动机构，连接于支座下方，用于驱动支座沿竖向移动；其中，所述托架座和支座之间设置有弹性结构，所述弹性结构围绕所述托架座的中轴线并在径向同距设置，以通过所述弹性结构均匀分布的弹性力使所述托架座平行于所述支座。
本发明授权晶圆装卸装置及化学机械抛光系统在权利要求书中公布了：1.一种柔性可调的晶圆装卸装置，其特征在于，包括：托架，用于装载和或卸载晶圆；托架座，连接于托架下方，用于支撑托架；支座，位于托架座下方并与托架座通过铰接机构连接，所述铰接机构与所述托架座同轴；驱动机构，连接于支座下方，用于驱动支座沿竖向移动；其中，所述托架座和支座之间设置有环绕所述铰接机构设的弹性结构，所述弹性结构围绕所述托架座的中轴线并在径向同距设置；所述弹性结构用于与承载头交互晶圆时以通过不提供弹性力使所述托架座可以通过铰接机构摆动，还用于与机械手交互晶圆时通过提供均匀分布的弹性力使所述托架座平行于所述支座。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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