恭喜长江存储科技有限责任公司付伶伶获国家专利权
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龙图腾网恭喜长江存储科技有限责任公司申请的专利用于晶圆的缺陷检测方法、装置、检测设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114897799B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210436386.5,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权用于晶圆的缺陷检测方法、装置、检测设备及存储介质是由付伶伶;陈金星;赵哲;汪严莉设计研发完成,并于2022-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于晶圆的缺陷检测方法、装置、检测设备及存储介质在说明书摘要公布了:本申请的实施方式提供了一种用于晶圆的缺陷检测方法、装置、检测设备及存储介质。本申请的部分实施方式中,用于晶圆的缺陷检测方法包括:检测晶圆的待测图像中晶圆的边缘上的像素;从边缘上的像素中选取多个像素,并确定所选取的多个像素中相邻的像素之间的像素路径;以及基于像素路径确定晶圆是否存在缺陷。通过上述实施方式,检测设备可自动检测晶圆边缘的缺陷。
本发明授权用于晶圆的缺陷检测方法、装置、检测设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆的缺陷检测方法,其特征在于,包括:检测所述晶圆的待测图像中所述晶圆的边缘上的像素;从所述边缘上的像素中选取多个像素,并确定所选取的多个像素中相邻的像素之间的像素路径;以及基于所述像素路径确定所述晶圆是否存在缺陷;其中,从所述边缘上的像素中选取多个像素,并确定所选取的多个像素中相邻的像素之间的像素路径包括:检测出所述边缘的圆心和半径;以所述圆心和所述边缘上任意选择的一个像素的连线为旋转线,以所述圆心为顶点,对所述旋转线进行旋转,选择与所述旋转线末端重合的像素作为用于确定所述像素路径的像素,直至所述旋转线转回起始位置;以及依次连接各个所述像素,得到各个所述像素之间的所述像素路径。
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