恭喜中国科学院上海光学精密机械研究所朱美萍获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利一种去除光学薄膜节瘤缺陷表面球冠状凸起的抛光方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116855913B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210329698.6，技术领域涉及：C23C14/58；该发明授权一种去除光学薄膜节瘤缺陷表面球冠状凸起的抛光方法是由朱美萍;刘天宝;杜文云;李静平;邵建达设计研发完成，并于2022-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种去除光学薄膜节瘤缺陷表面球冠状凸起的抛光方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光学薄膜领域，主要针对降低光学薄膜损伤阈值的节瘤缺陷，具体涉及一种基于去除节瘤缺陷表面球冠状凸起提高薄膜激光损伤阈值的方法。本发明提供的方法包括：使用粗糙度小于薄膜元件的光滑表面作为抛光面；利用润湿性良好的液体在抛光面和薄膜表面间形成液膜，液膜产生的毛细力作为作用在薄膜表面的正压力；膜面的节瘤凸起在抛光面和膜面的相对滑动过程中由摩擦力去除。本发明利用光滑表面和润湿性良好的液体去除薄膜表面的节瘤凸起，降低了节瘤缺陷引起的电场增强，在不影响薄膜光谱性能的前提下提升了薄膜元件的激光损伤阈值。与现有的提高光学薄膜激光损伤阈值的方法相比，本发明具有操作简单、成本低和适用范围广等特点。
本发明授权一种去除光学薄膜节瘤缺陷表面球冠状凸起的抛光方法在权利要求书中公布了：1.一种去除光学薄膜节瘤缺陷表面球冠状凸起的抛光方法，其特征在于：使用粗糙度小于薄膜元件的光滑表面作为抛光面；利用润湿性良好的液体在抛光面和薄膜表面间形成液膜，液膜产生的毛细力作为作用在薄膜表面的正压力；薄膜表面的节瘤凸起在抛光面和薄膜表面的相对滑动过程中由摩擦力去除；所述润湿性良好的液体与薄膜表面及抛光面间的接触角都小于90°，且不与薄膜表面和抛光面发生化学反应。
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