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龙图腾网恭喜意法半导体股份有限公司申请的专利MEMS微粒传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114689471B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111637537.5，技术领域涉及：G01N15/00；该发明授权MEMS微粒传感器是由F·方希里诺设计研发完成，并于2021-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本MEMS微粒传感器在说明书摘要公布了：本公开的各实施例涉及MEMS微粒传感器。提供了一种用于感测MEMS感测设备外部环境中的微粒的MEMS感测设备。MEMS感测设备包括半导体本体，该半导体本体集成传感器和泵单元，传感器包括传感器腔、被悬置在传感器腔上方的膜、以及压电元件，该压电元件位于膜上方，并且被配置为当感测电信号在MEMS感测设备的第一操作阶段期间被施加到压电元件时，使膜以对应共振频率围绕平衡位置振荡，该共振频率取决于位于膜上的微粒的数量，膜具有多个通孔，用于在传感器腔与环境之间建立流体连通；泵被配置为在第一操作阶段期间使传感器腔中的空气压力相对于环境的空气压力降低，使得微粒由通过多个通孔的吸力粘附到膜上。

本发明授权MEMS微粒传感器在权利要求书中公布了：1.一种MEMS感测设备，用于感测所述MEMS感测设备外部环境中的微粒，所述MEMS感测设备包括：半导体本体，集成传感器和泵；其中所述传感器包括传感器腔、被悬置在所述传感器腔上方的膜、以及压电元件，所述压电元件位于所述膜上方，并且被配置为当感测电信号在所述MEMS感测设备的第一操作阶段期间被施加到所述压电元件时，使所述膜围绕平衡位置并且以共振频率振荡，所述共振频率取决于位于所述膜上的微粒的数量；其中所述膜包括多个通孔，所述多个通孔被配置为在所述传感器腔与所述环境之间建立流体连通；其中所述泵与所述传感器相邻，通过在所述半导体本体中延伸的管道被连接到所述传感器，并且被配置为在所述第一操作阶段期间使所述传感器腔中的空气压力相对于所述环境的所述空气压力被降低，使得微粒由通过所述多个通孔的吸力粘附到所述膜上；并且其中所述泵被配置为在第二操作阶段期间使所述传感器腔中的空气压力相对于所述环境的所述空气压力被增加，使得微粒由通过所述多个通孔的吹力被吹离所述膜，从而清洁所述膜。

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