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龙图腾网恭喜未来宝株式会社申请的专利在有机膜沉积工程中产生的反应副产物的捕获装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114823262B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110289932.2，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权在有机膜沉积工程中产生的反应副产物的捕获装置是由赵宰孝;李妍周;孙平熙;金真雄设计研发完成，并于2021-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本在有机膜沉积工程中产生的反应副产物的捕获装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种在有机膜沉积工程中产生的反应副产物的捕获装置，适用本发明的在有机膜沉积工程中产生的反应副产物的捕获装置，其特征在于，包括：外壳，用于对所流入的未反应气体进行收容和排出；加热器，位于外壳的内侧，在利用以双重结构放射状排列的扩散器对所流入的气体进行扩散的同时对气体进行均匀加热；以及，内部捕获塔，垂直排列有由放射状排列且单位面积上的表面积较宽的结构型捕获板以及为了对气体流进行集中或分散排出而在中央部或以放射状排列形成有排气孔的捕获盘构成的第1盘型捕获部至第5盘型捕获部。

本发明授权在有机膜沉积工程中产生的反应副产物的捕获装置在权利要求书中公布了：1.一种在有机膜沉积工程中产生的反应副产物的捕获装置，其特征在于：作为在半导体制造工程中接收在用于执行有机膜沉积工程的制程腔体内进行反应之后排出的未反应气体的供应，接下来在利用加热器进行加热之后在捕获可用空间中对温度下降的颗粒状态的反应副产物进行捕获并对剩余气体进行排出的捕获装置，包括：外壳1，用于对所流入的未反应气体进行收容和排出；加热器2，位于外壳的内侧，在利用以径向双重放射状排列的扩散器对所流入的气体进行扩散的同时对气体进行均匀加热；以及，内部捕获塔3，垂直排列有由放射状排列的结构型捕获板，且所述结构型捕获板在水平方向的单位面积上的表面积大于捕获盘，以及为了对气体流进行集中或分散排出而在中央部或以放射状排列形成有排气孔的捕获盘构成的第1盘型捕获部31、第2盘型捕获部32、第3盘型捕获部33、第4盘型捕获部34以及第5盘型捕获部35，其中，上述第2盘型捕获部32通过以放射状排列的多个结构型捕获板321将所供应过来的气体流导向到外侧方向，接下来利用沿着捕获盘322的周围形成的倾斜型导向器323对从上部或侧面方向供应过来的气体流进行阻挡并重新聚拢到内侧而使其停滞，并通过沿着以放射状排列的结构型捕获板321以放射状排列的长孔形态排气孔322a均匀地排出到下部，从而通过结构型捕获板321以及捕获盘322以薄膜形态均匀地对反应副产物进行捕获。

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