恭喜东京毅力科创株式会社牧哲也获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利基板定位装置、基板定位方法以及接合装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113257732B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110152066.2，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权基板定位装置、基板定位方法以及接合装置是由牧哲也;稻益寿史设计研发完成，并于2021-02-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板定位装置、基板定位方法以及接合装置在说明书摘要公布了：本发明提供使基板的定位精度提高的基板定位装置、基板定位方法以及接合装置。本公开的基板定位装置具备保持部和旋转机构。保持部保持基板。旋转机构使保持部旋转。另外，旋转机构具备旋转轴部、轴承部、基座部、驱动部、以及阻尼机构。旋转轴部固定于保持部。轴承部以未接触状态支承旋转轴部。基座部固定轴承部。驱动部使旋转轴部旋转。阻尼机构包括与基座部连接的轨道和与旋转轴部连接的滑动件，利用在轨道与滑动件之间产生的阻力产生针对旋转轴部与基座部之间的相对动作的阻尼力。
本发明授权基板定位装置、基板定位方法以及接合装置在权利要求书中公布了：1.一种基板定位装置，其具备：保持部，其保持基板；和旋转机构，其使所述保持部旋转，所述旋转机构具备：旋转轴部，其固定于所述保持部；轴承部，其以未接触状态支承所述旋转轴部；基座部，其固定所述轴承部；驱动部，其使所述旋转轴部旋转；以及阻尼机构，其包括与所述基座部连接的轨道和与所述旋转轴部连接的滑动件，该阻尼机构利用在所述轨道与所述滑动件之间产生的阻力产生针对所述旋转轴部与所述基座部之间的相对动作的阻尼力。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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