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龙图腾网恭喜荌益国际有限公司申请的专利基板移转方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113903696B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011547785.6，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权基板移转方法及装置是由林柏育;陈正钦设计研发完成，并于2020-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板移转方法及装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板移转方法及装置，能解决晶圆扩片制程后、扩片铁圈组所造成的厚度问题。将所述基板由一胶膜移转到另一胶膜上，使用较薄的框架来置换所述晶圆扩片制程所使用的所述扩片铁圈组，以利晶圆扩片后的后续制程。

本发明授权基板移转方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种基板移转方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一第一工件，所述第一工件包括一基板、贴附于所述基板的一第一表面的一第一胶膜、以及环绕所述基板并且与所述第一胶膜结合的一第一框架；放置所述第一工件于一固定平台及一升降平台上，所述升降平台环绕所述固定平台设置，对应所述基板的所述第一表面的部分所述第一胶膜位于所述固定平台上，所述第一框架位于所述升降平台上；操作所述升降平台，以调整所述升降平台与所述固定平台之间的一高度差，所述第一框架跟随所述升降平台升降，使得所述第一胶膜不翘曲；切割对应所述固定平台与所述升降平台之间的一间隙的部分所述第一胶膜；取下包括部分所述第一胶膜的所述第一框架；放置一第二框架于所述升降平台；操作所述升降平台，以调整所述升降平台与所述固定平台之间的所述高度差，所述第二框架跟随所述升降平台升降，使得所述第二框架相对所述升降平台的表面与所述基板相对所述第一表面的一第二表面共平面；以及贴附一第二胶膜于所述基板的所述第二表面及所述第二框架相对所述升降平台的表面，以形成包括所述基板、部分所述第一胶膜、所述第二胶膜、以及所述第二框架的一第二工件；放置所述第二工件于所述固定平台及所述升降平台上，对应所述基板的所述第二表面的部分所述第二胶膜位于所述固定平台上，对应所述第二框架的部分所述第二胶膜位于所述升降平台上；撕除贴附于所述基板的所述第一表面的部分所述第一胶膜；切割对应所述固定平台与所述升降平台之间的所述间隙的部分所述第二胶膜。

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