恭喜朗姆研究公司朱济获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利高深宽比结构的有效率的清洁和蚀刻获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112335016B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980039739.4，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权高深宽比结构的有效率的清洁和蚀刻是由朱济;马克·卡瓦古奇;南森·马塞尔怀特设计研发完成，并于2019-06-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本高深宽比结构的有效率的清洁和蚀刻在说明书摘要公布了：一种处理衬底的方法包含：将衬底设置在处理室中。将汽化溶剂和包含所述溶剂的气体混合物中的至少一者供应至所述处理室，以在所述衬底的暴露表面上形成所述溶剂的保形液体层。将所述汽化溶剂及所述气体混合物中的所述至少一者从所述处理室中移除。将包含卤素物质的反应性气体供应至所述处理室。所述保形液体层吸附所述反应性气体以形成反应性液体层，所述反应性液体层对所述衬底的所述暴露表面进行蚀刻。
本发明授权高深宽比结构的有效率的清洁和蚀刻在权利要求书中公布了：1.一种处理衬底的方法，其包含：a将衬底设置在处理室中；以及b同时将汽化溶剂和包含卤素物质的反应性气体供应至所述处理室，以在所述衬底的暴露表面上形成保形液体层；其中所述保形液体层吸附所述反应性气体以形成反应性液体层，所述反应性液体层对所述衬底的所述暴露表面进行蚀刻，形成气态的副产物而不会形成残余物；以及其中所述反应性液体层以在10埃min至100埃min的范围内的蚀刻速率对所述暴露表面进行蚀刻。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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