恭喜北京锐洁机器人科技有限公司王铁柱获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网恭喜北京锐洁机器人科技有限公司申请的专利一种用于掩膜版在不同设备上运输的标准SMIF设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119626963B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510161235.7,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权一种用于掩膜版在不同设备上运输的标准SMIF设备是由王铁柱;刘冬梅;王勇;王强设计研发完成,并于2025-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于掩膜版在不同设备上运输的标准SMIF设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于掩膜版在不同设备上运输的标准SMIF设备,涉及掩膜版运输技术领域,包括架体,架体上固定安装有升降机构,升降机构上安装有支撑框,架体上且位于支撑框的内部设置有开盒机构,开盒机构的顶部设置有安装在架体上的掩膜版托盘,支撑框的顶部固定安装有支撑架,支撑架的安装有设置有掩膜版盒体,支撑架的底部设置有信息识别机构。本发明提供一种用于掩膜版在不同设备上运输的标准SMIF设备,通过在支撑架的底部设置信息识别机构后,能够实现在对掩膜版运输的过程中,依靠多个映射传感器来对掩膜版的位置、数量等信息的识别,提升了掩膜版传输的精准性,避免掩膜版的运输出现误差对半导体的生产制造产生影响。
本发明授权一种用于掩膜版在不同设备上运输的标准SMIF设备在权利要求书中公布了:1.一种用于掩膜版在不同设备上运输的标准SMIF设备,包括架体(1),所述架体(1)上固定安装有升降机构(2),所述升降机构(2)上安装有支撑框(3),所述架体(1)上且位于所述支撑框(3)的内部设置有开盒机构(4),所述开盒机构(4)的顶部设置有安装在所述架体(1)上的掩膜版托盘(5),所述支撑框(3)的顶部固定安装有支撑架(6),所述支撑架(6)的安装有设置有掩膜版盒体(7),其特征在于,所述支撑架(6)的底部设置有信息识别机构(8),所述信息识别机构(8)包括多个对称固定安装在所述支撑架(6)底部上的固定座(9),所述固定座(9)上安装有安装块(10),所述安装块(10)的底部固定安装有映射传感器(11),其中:所述固定座(9)的内部对称开设有两个第一凹槽(12),所述第一凹槽(12)的内部固定安装有第一弹簧(13),所述第一弹簧(13)的一端固定安装有卡杆(14),所述安装块(10)的顶部固定安装有卡块(15);所述卡杆(14)的直径与所述卡块(15)上卡槽的内径相吻合,且所述卡杆(14)的一端设置为弧形;所述支撑架(6)的顶部设置有固定机构(16),所述固定机构(16)包括两个对称固定安装在所述支撑架(6)上的框架(17),所述框架(17)的内部对称固定安装有两个第一电动伸缩杆(18),所述第一电动伸缩杆(18)的输出端固定安装有推块(19),所述支撑架(6)的内壁上设置有通过多个第二弹簧(20)安装连接的支撑块(21),所述支撑块(21)的一侧与所述推块(19)相贴合,所述支撑块(21)的另一侧固定安装有贯穿所述框架(17)的限位块(22),所述掩膜版盒体(7)的两侧均开设有限位槽(23)。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京锐洁机器人科技有限公司,其通讯地址为:100176 北京市通州区北京经济技术开发区科创十四街99号33幢C栋603室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。