恭喜浙江鼎晶科技有限公司李修超获国家专利权
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龙图腾网恭喜浙江鼎晶科技有限公司申请的专利一种点胶装置及点胶高度校准方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119456330B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510077609.7,技术领域涉及:B05C5/02;该发明授权一种点胶装置及点胶高度校准方法是由李修超;钱震东;喻泷;余雄设计研发完成,并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种点胶装置及点胶高度校准方法在说明书摘要公布了:本发明涉及晶圆点胶技术领域,其具体提供了一种点胶装置,用于晶圆点胶,包括移动单元、设于移动单元的输出端的点胶单元,以及位于点胶单元下方用于搭载晶圆的平台单元;移动单元包括第二移动部和第三移动部;点胶单元包括针头以及非接触式测距仪,平台单元上设置有接触式感应件;第二移动部带动非接触式测距仪以及第三移动部,向接触式感应件所在方向移动至零位后,第三移动部带动针头向接触式感应件移动,与接触式感应件接触且直至将其触发,与此同时,非接触式测距仪对接触式感应件与针头的接触点受压产生的形变量进行测量;此外还公开了一种点胶高度校准方法,解决了因传感器发生形变量,点胶高度测量不精准的问题。
本发明授权一种点胶装置及点胶高度校准方法在权利要求书中公布了:1.一种点胶装置的点胶高度校准方法,用于晶圆点胶,其特征在于:包括移动单元(11)、设于所述移动单元(11)的输出端的点胶单元(12),以及位于所述点胶单元(12)下方用于搭载晶圆的平台单元(3);所述移动单元(11)包括第二移动部(112)和第三移动部(113);所述点胶单元(12)包括针头(122)以及非接触式测距仪(123),所述平台单元(3)上设置有接触式感应件(3221);所述第二移动部(112)带动所述非接触式测距仪(123)以及所述第三移动部(113),向所述接触式感应件(3221)所在方向移动至零位后,所述第三移动部(113)带动所述针头(122)向所述接触式感应件(3221)移动,与所述接触式感应件(3221)接触且直至将其触发,与此同时,所述非接触式测距仪(123)对所述接触式感应件(3221)与所述针头(122)的接触点受压产生的形变量进行测量;还包括以下步骤:a.所述第二移动部(112)沿竖向带动所述点胶单元(12)下降,将所述非接触式测距仪(123)移动至第一安全位;b.所述第二移动部(112)沿竖向带动所述非接触式测距仪(123)继续移动至零位;c.所述第三移动部(113)带动所述针头(122)与阀体(121)沿竖向移动,与所述接触式感应件(3221)的感应平面接触且直至将其触发,所述第三移动部(113)即刻暂停,系统记录所述第三移动部(113)的移动位移为L1;d.所述非接触式测距仪(123)对所述接触式感应件(3221)与所述针头(122)的接触点受压产生的形变量进行测量,系统记录变形量为L2;e.所述第三移动部(113)带动所述针头(122)竖向上升并移动至第二安全位;系统由L1与L2的差值获得在所述非接触式测距仪(123)位于零位时,其与所述接触式感应件(3221)的感应平面的相对高度,以此确定所述针头(122)与所述接触式感应件(3221)的感应平面的相对高度。
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