恭喜沈阳和研科技股份有限公司李艳丽获国家专利权
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龙图腾网恭喜沈阳和研科技股份有限公司申请的专利一种基于激光测高的方形工件切割系统及切割方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119426723B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510031983.3,技术领域涉及:B23D79/00;该发明授权一种基于激光测高的方形工件切割系统及切割方法是由李艳丽;余胡平;孟繁滨;赵博;刘宏文;王晓铎;欧阳仲宇;刘雪飞设计研发完成,并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于激光测高的方形工件切割系统及切割方法在说明书摘要公布了:本发明涉及芯片切割技术领域,提供了一种基于激光测高的方形工件切割系统及切割方法,通过测量工件指定位置的高度,能够准确复原工件的拟合表面信息,从而对不同位置的切割组件的高度进行补偿,并且根据拟合表面信息插值计算出任意位置点的高度,这样就能对部分位置点的高度进行验证,从而确定保证切割精度,且切割根据表面高度进行实时调整,保证了切入深度的一致性,也能尽量减少切割废品的产生,从而节约成本,而且在验证满足要求之后可无需继续验证,进而实现后续的直接切割,有利于提升切割效率。
本发明授权一种基于激光测高的方形工件切割系统及切割方法在权利要求书中公布了:1.一种基于激光测高的方形工件切割系统,用于对所述方形工件进行半切,其特征在于,包括:至少一组切割工作台,所述切割工作台用于放置待切割的方形工件,所述切割工作台上设有用于吸附所述方形工件的矩形载物台,所述切割工作台沿X轴方向进给运动;切割组件,所述切割组件沿Y轴方向进给运动,用于对所述方形工件进行切割;激光测距模块,所述激光测距模块设置在所述切割工作台的上方,用于对所述方形工件进行激光测高;控制模块,所述控制模块与所述激光测距模块、切割工作台以及切割组件电性连接,被配置为用于获取所述激光测距模块所采集的所述方形工件表面沿切割方向的多个采样点的高度信息,并根据所述多个采样点的高度信息拟合得到工件拟合表面信息;在所述方形工件的表面取若干位置的验证点,并根据所述工件拟合表面信息对所述验证点所在的位置进行插值计算,得到所述验证点的拟合高度信息;验证所述验证点的拟合高度信息与实际高度信息的差值是否在预期切割深度波动范围内,并根据验证结果确定是否对采样点进行调整;其中,所述采样点位于平行或者垂直于切割方向的直线上,连接任意平行或者垂直于切割方向的相邻两个所述采样点的直线,以得到的所述直线的集合为工件拟合表面信息,所述验证点为连接平行或垂直于切割方向任意两个采样点的直线上的某个点;在所述方形工件的表面取若干位置的验证点,并根据所述工件拟合表面信息对所述验证点所在的位置进行插值计算,得到所述验证点的拟合高度信息,包括:确定平行或者垂直于切割方向的任意两个相邻采样点之间连接所形成的直线,以该直线上验证点对应的高度为拟合高度值,从而得到所述验证点的拟合高度信息;其中,所述验证点位于沿X轴方向相邻的两个采样点的中点以及沿Y轴方向相邻的两个采样点的中点;以及,验证所述验证点的拟合高度信息与实际高度信息的差值是否在预期切割深度波动范围内,并根据验证结果确定是否对采样点进行调整,包括:获取处于最小矩形单元顶点处的四个采样点的坐标;通过插值计算得到最小矩形单元的四个采样点对应的四个验证点,并分别得到最小矩形单元相对的两个所述验证点的连线;分别获取这两条连线在XY投影面的交点处对应的拟合高度值,并根据拟合高度的差值是否在切割波动范围内,确定插值计算的结果以及采样点取值的合理性。
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