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龙图腾网恭喜思恩半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆清洗机械臂运动稳定性自适应调节系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119347800B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411930123.5，技术领域涉及：B25J9/16；该发明授权一种晶圆清洗机械臂运动稳定性自适应调节系统及方法是由蔡永礼;叶曲波;王文和设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆清洗机械臂运动稳定性自适应调节系统及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，具体为一种晶圆清洗机械臂运动稳定性自适应调节系统及方法，方法包括：采集机械臂运动过程中的关节速度、振动加速度和末端受力数据，构建数据集；利用频谱分析和傅里叶变换对数据进行特征提取，构建稳定性评估策略，实时判断机械臂运动稳定性；当检测到不稳定状态时，使用预训练的聚类支持向量机模型进行故障原因诊断；根据诊断结果，动态调整机械臂PID控制器增益值和关节阻尼补偿系数，生成新的控制律并应用于机械臂；控制调整后，持续监测稳定性，直至机械臂恢复稳定。本发明方法实现了机械臂稳定性的自动评估、故障诊断和控制优化，提高了晶圆清洗设备的可靠性和效率。

本发明授权一种晶圆清洗机械臂运动稳定性自适应调节系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗机械臂运动稳定性自适应调节方法，其特征在于，包括：采集晶圆清洗机械臂的工作数据，包括机械臂的关节速度、振动数据以及末端执行器受力数据；采集机械臂的振动数据，设在空间坐标系中的三个方向的加速度分量为，则加速度采样值为： ；其中，为采样时间间隔；采集机械臂的末端执行器受力数据，测量机械臂末端所受的三维力，设三维力为，则： ；其中，、和分别是三维空间中方向的受力向量；对采集到的工作数据进行特征分析，构建机械臂稳定性评估策略，利用频谱分析和傅里叶变换算法，对机械臂的运动状态进行实时评估，判断机械臂当前运动是否处于稳定状态；分别设定机械臂关节速度、振动数据，以及末端受力的稳定性评估阈值，设定机械臂关节速度稳定性阈值为，振动数据稳定性阈值为以及末端受力的稳定性阈值为；根据设定的阈值，实时判断当前机械臂运动是否稳定： ；若以上三个条件同时满足，则认为当前机械臂运动处于稳定状态，否则视机械臂为不稳定状态；构建并训练机械臂问题检测模型，当机械臂处于不稳定状态时，通过机械臂问题检测模型识别机械臂不稳定的故障原因；构建动态调整机械臂的控制算法，根据机械臂不稳定的故障原因对机械臂进行调节，包括调整机械臂PID控制器的增益值以及调整机械臂关节阻尼补偿；在对机械臂实施控制调整后，持续监测机械臂是否处于稳定状态，若机械臂不处于稳定状态，则重新对机械臂进行调整，直到机械臂处于稳定状态。

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