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龙图腾网恭喜西湖大学光电研究院申请的专利一种调制激光束结合刻蚀制备微流道散热芯片的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119260165B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411804403.1，技术领域涉及：B23K26/0622；该发明授权一种调制激光束结合刻蚀制备微流道散热芯片的方法是由赵鼎;吕未;仇旻;齐利民;李春昊设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种调制激光束结合刻蚀制备微流道散热芯片的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种调制激光束结合刻蚀制备微流道散热芯片的方法，包括：控制激光光源组件输出激光束，该激光束经过空间光调制器进行相位调制后输出形成图案的多条激光束，该多条激光束经过振镜场镜扫描系统聚焦后形成光斑对衬底玻璃进行对应图案阵列的改性，其中改性图案阵列与微流道结构相关；对衬底玻璃上的改性图案阵列进行湿法刻蚀，得到微流道散热芯片。这方法通过引入空间光调制器使用调制过的超短脉冲激光对玻璃衬底材料进行高效率诱导，来实现微流道散热芯片的高效率制备。

本发明授权一种调制激光束结合刻蚀制备微流道散热芯片的方法在权利要求书中公布了：1.一种调制激光束结合刻蚀制备微流道散热芯片的方法，其特征在于，包括以下步骤：控制激光光源组件输出超短脉冲激光束，该超短脉冲激光束经过空间光调制器进行调制后输出形成图案的多条超短脉冲激光束，该多条超短脉冲激光束经过振镜场镜扫描系统聚焦后形成光斑对衬底玻璃进行对应图案阵列的改性，其中改性图案阵列与微流道结构相关；其中振镜场镜扫描系统由振镜和场镜组成，通过振镜场镜扫描系统在衬底玻璃表面移动光斑，实现对衬底玻璃的改性，当激光聚焦于材料表面时，激光对衬底表面以下一定深度的材料都有改性作用，通过调节激光聚焦位置深度，相应调控材料改性的深度范围，即得到微流道的不同层级和深度；具体形成外边方形、内边圆形的光斑图案，通过改变入射激光的光强度分布，使激光均匀分布于外方形以内与内圆形以外形成的交叉区域，即交叉区域激光强，而中心圆形处激光强度弱，当激光聚焦处功率密度大于材料改性的激光功率阈值，焦点高度位置附近的激光功率也仍大于材料改性阈值，在激光功率密度大于改性阈值的高度范围内，材料都被激光改性，未经激光照射的相应深度和区域材料则维持原状态，两者具有不同的材料特性；对衬底玻璃上的改性图案阵列进行湿法刻蚀，得到微流道散热芯片。

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