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龙图腾网恭喜深圳市新晶路电子科技有限公司申请的专利一种晶圆盘扩膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119560450B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510122142.3，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种晶圆盘扩膜装置是由谢亮春;张小波;邓攀设计研发完成，并于2025-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆盘扩膜装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆盘扩膜装置，涉及半导体设备技术领域，包括：底座；固定组件，固定组件置于底座顶部的一侧，固定组件包括设置在底座顶部一侧的压板，本发明中，首先，将晶圆盘放置在压板底部，并通过固定螺栓和托板将其稳固地固定在固定板上，接着，启动旋转组件中的第一传动电机和第二传动电机，第一传动电机通过第一转动杆、第二转动杆以及活动球等部件带动活动杆进行旋转，从而调整晶圆盘的位置，同时，第二传动电机驱动锥齿轮转动，进一步带动第一转动块在固定壳内转动，实现对晶圆盘的旋转扩膜，整个过程中，各部件协同工作，实现了对晶圆盘扩膜前进行水平偏移晃动，使得液态薄膜能够均匀地散布至晶圆表面。

本发明授权一种晶圆盘扩膜装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盘扩膜装置，其特征在于，包括：底座（1）；固定组件（2），固定组件（2）置于底座（1）顶部的一侧，固定组件（2）包括设置在底座（1）顶部一侧的压板（21），所述压板（21）的底部设置有晶圆盘（22），所述晶圆盘（22）内设置有顶圈（23），所述顶圈（23）的底部设置有托板（24），所述托板（24）的底部螺纹连接有固定螺栓（25），所述托板（24）的底部一侧固定连接有固定板（26）；旋转组件（3），旋转组件（3）置于底座（1）上靠近固定板（26）底部的一侧，旋转组件（3）包括固定连接在底座（1）上靠近固定板（26）底部一侧的固定壳（31），所述固定壳（31）的一侧安装有第一传动电机（32），所述第一传动电机（32）的输出端固定连接有第一转动杆（33），所述第一转动杆（33）的另一端转动连接有第二转动杆（34），所述第二转动杆（34）上开设有第一活动球槽（35），所述第一活动球槽（35）内活动连接有第一活动球（36），所述第一活动球（36）的顶部固定连接有活动杆（37），所述活动杆（37）上远离第一活动球（36）的一端固定连接有第二活动球（38），所述固定壳（31）的一侧安装有第二传动电机（39），所述第二传动电机（39）的输出端固定连接有锥齿轮（310），所述固定壳（31）内转动连接有第一转动块（311），所述第一转动块（311）的底部开设有齿槽（312），所述固定壳（31）的顶部设置有连接板（313），所述连接板（313）的底部设置有第一限位板（314），所述第一限位板（314）上开设有第二限位槽（315），所述连接板（313）的底部靠近第二限位槽（315）的一侧固定连接有第一限位杆（316），所述第一限位板（314）上转动连接有第二转动块（317），所述连接板（313）上开设有第二活动球槽（318），所述第二活动球（38）活动连接在第二活动球槽（318）内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市新晶路电子科技有限公司，其通讯地址为：518110 广东省深圳市龙华区福城街道桔塘社区荣富路14号2025铭广智创园厂房A栋101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。