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龙图腾网恭喜浙江晟霖益嘉科技有限公司申请的专利一种易于自动定位的晶圆制备装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119419160B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510005349.2，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种易于自动定位的晶圆制备装置是由贺忻;陈明;王保;王慧锋;徐钧设计研发完成，并于2025-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种易于自动定位的晶圆制备装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种易于自动定位的晶圆制备装置，包括EFEM腔室和若干围绕真空传输腔布置的工艺腔室，所述真空传输腔和EFEM腔室之间设置有真空过渡腔，所述真空传输腔中在靠近真空过渡腔处设置有晶圆传输检测位,所述晶圆传输检测位处设置有晶圆定位检测机构，所述晶圆定位检测机构包括位移测量仪，所述位移测量仪安装在圆形导轨上，并可在圆形导轨上旋转测量晶圆片的位置；所述EFEM腔室中设置有大气机械手将晶圆片送至真空过渡腔；所述真空传输腔中设置有真空机械手抓取晶圆片并送至晶圆传输检测位。本发明不但能够实现晶圆的精确定位和检测，提高半导体制造的精确度和质量，而且可以降低设备的复杂性、维护难度和成本。

本发明授权一种易于自动定位的晶圆制备装置在权利要求书中公布了：1.一种易于自动定位的晶圆制备装置，包括EFEM腔室（3）和若干围绕真空传输腔（6）布置的工艺腔室（9），所述真空传输腔（6）和EFEM腔室（3）之间设置有真空过渡腔（4），其特征在于，所述真空传输腔（6）中在靠近真空过渡腔（4）处设置有晶圆传输检测位11,所述晶圆传输检测位11处设置有晶圆定位检测机构（5），所述晶圆定位检测机构（5）包括位移测量仪（5-8），所述位移测量仪（5-8）安装在圆形导轨（5-1）上，并可在圆形导轨（5-1）上旋转测量晶圆片（10）的位置；所述EFEM腔室（3）中设置有大气机械手（2），所述大气机械手（2）将晶圆片（10）送至真空过渡腔（4）；所述真空传输腔（6）中设置有真空机械手（7），所述真空机械手（7）从真空过渡腔（4）抓取晶圆片（10）并送至晶圆传输检测位11，完成检测后再传送至工艺腔室（9）；所述位移测量仪（5-8）固定在滑块（5-3）上，所述滑块（5-3）上设置有驱动电机（5-6），所述驱动电机（5-6）的电机驱动轴（5-7）上设置有驱动齿轮（5-5），所述圆形导轨（5-1）的外圆周设置有齿轮并与驱动齿轮（5-5）相啮合，所述位移测量仪（5-8）对准圆形导轨（5-1）中心做旋转运动测量晶圆片识别缺口（10a）和中心的位置；所述位移测量仪（5-8）上设有安装U型槽（5-10），所述安装U型槽（5-10）上安装有测量仪固定螺钉（5-9），所述安装U型槽（5-10）用于径向调节并固定位移测量仪（5-8）于滑块（5-3）上；所述圆形导轨（5-1）固定安装在真空传输腔（6）的腔盖上，所述圆形导轨（5-1）的直径大于晶圆片（10）的直径。

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