成都奕成集成电路有限公司文丹获国家专利权
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龙图腾网获悉成都奕成集成电路有限公司申请的专利一种夹具及溅射仪获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222893239U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421918385.5，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种夹具及溅射仪是由文丹;余忠祥;高漩设计研发完成，并于2024-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种夹具及溅射仪在说明书摘要公布了：本申请提供的一种夹具及溅射仪，所述夹具包括固定框和缓冲组件；固定框包括第一面和与其相对的第二面，还包括从第一面贯穿至第二面的第一开口；缓冲组件设置在固定框的第一面，包括第二开口，第一开口在第一面上的正投影与第二开口在第一面上的正投影至少部分重合；缓冲组件的硬度小于固定框的硬度。本申请在保持夹具主体结构稳固不变的基础上，通过增加低硬度、高润滑度、高耐腐蚀性和高耐热性的缓冲层材料，降低基板破碎概率；并在其上设置可以调节第二开口大小的调整部，赋予其在溅射过程中实现不同遮挡面积方案的灵活性。用户可根据实际需求，轻松调整溅射面积，从而优化薄膜沉积效果，满足多样化、高精度的加工需求。
本实用新型一种夹具及溅射仪在权利要求书中公布了：1.一种夹具，其特征在于，包括固定框和缓冲组件；所述固定框包括第一面和与其相对的第二面，还包括从所述第一面贯穿至所述第二面的第一开口；所述缓冲组件设置在所述固定框的第一面，包括第二开口，所述第一开口在所述第一面上的正投影与所述第二开口在所述第一面上的正投影至少部分重合；所述缓冲组件的硬度小于所述固定框的硬度。
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