宿州市芸芯通讯科技有限公司范兆莉获国家专利权
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龙图腾网获悉宿州市芸芯通讯科技有限公司申请的专利一种晶圆激光精密切割用夹具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222890729U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421886565.X,技术领域涉及:B23K26/70;该实用新型一种晶圆激光精密切割用夹具是由范兆莉;汪唯;杜文凤;王娟设计研发完成,并于2024-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆激光精密切割用夹具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆激光精密切割用夹具,涉及晶圆加工技术领域,包括基板,连接杆的顶部安装有吸盘,连接杆的底部固定连接有连接件,腔室的底部固定连接有反弹件,连接件包括安装在连接杆底部的套筒,套筒的两侧均固定连接有边板,边板的内部安装有伸缩杆,伸缩杆的表面套设有弹簧,弹簧的一端且位于伸缩杆的输出端固定连接有梯形卡块,梯形卡块位于套筒的内部,且与其活动连接。本实用新型提供的晶圆激光精密切割用夹具,通过设有连接件与反弹件,可对不同直径的晶圆进行固定,同时可根据晶圆的规格灵活调整连接杆使用的数量,从而避免抽气泵能量的浪费,进一步的解决了现有技术中不能对稍大规格的晶圆进行固定的问题。
本实用新型一种晶圆激光精密切割用夹具在权利要求书中公布了:1.一种晶圆激光精密切割用夹具,包括基板1、安装在基板1顶部的腔室2、安装在腔室2顶部的顶盖21、活动套接在腔室2内部的连接杆3,其特征在于:所述连接杆3的顶部安装有吸盘31,所述连接杆3的底部固定连接有连接件32,所述腔室2的底部固定连接有反弹件33;所述连接件32包括安装在连接杆3底部的套筒321,所述套筒321的两侧均固定连接有边板322,所述边板322的内部安装有伸缩杆323,所述伸缩杆323的表面套设有弹簧324,所述弹簧324的一端且位于伸缩杆323的输出端固定连接有梯形卡块325,所述梯形卡块325位于套筒321的内部,且与其活动连接。
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