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杭州碳碳新材料科技有限公司周子彬获国家专利权

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龙图腾网获悉杭州碳碳新材料科技有限公司申请的专利一种金刚石碳膜沉积装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222893231U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421522372.6,技术领域涉及:C23C14/26;该实用新型一种金刚石碳膜沉积装置是由周子彬设计研发完成,并于2024-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。

一种金刚石碳膜沉积装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种金刚石碳膜沉积装置,具体涉及沉淀镀膜领域,包括装置主体,装置主体的内部固定安装有电极,电极的顶部设置有靶材锅,靶材锅的内部插接有固定螺栓,固定螺栓通过螺纹连接在电极的内部,装置主体的内部开设有螺旋槽,螺旋槽的内部插接有弹性挡板,弹性挡板的外壁固定连接有第一支撑杆,第一支撑杆滑动连接在螺旋槽的内部。本实用新型通过设置了弹性挡板和挡件,可以有效防止靶材黏附在装置主体的内壁,且通过弹性挡板和挡件形成的密封空间大小是根据基片的大小调节的,使靶材蒸发产生的物质在密封空间内沉降的时间减少,进而使靶材蒸发产生的物质快速沉积在基片上,提高基片镀膜的效率。

本实用新型一种金刚石碳膜沉积装置在权利要求书中公布了:1.一种金刚石碳膜沉积装置,包括装置主体1,其特征在于:所述装置主体1的内部固定安装有电极2,所述电极2的顶部设置有靶材锅3,所述靶材锅3的内部插接有固定螺栓4,所述固定螺栓4通过螺纹连接在电极2的内部,所述装置主体1的内部开设有螺旋槽5,所述螺旋槽5的内部插接有弹性挡板6,所述弹性挡板6的外壁固定连接有第一支撑杆7,所述第一支撑杆7滑动连接在螺旋槽5的内部,所述第一支撑杆7的外壁固定连接有发条弹簧8,所述发条弹簧8的外壁设置有外壳9,所述外壳9固定安装在装置主体1的内部。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人杭州碳碳新材料科技有限公司,其通讯地址为:310000 浙江省杭州市上城区紫金观巷26号133室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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