深圳市凯尔迪光电科技有限公司郑国绍获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市凯尔迪光电科技有限公司申请的专利一种晶圆盒盖板离心清洗旋转烘干机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222890290U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421505355.1，技术领域涉及：B08B9/32；该实用新型一种晶圆盒盖板离心清洗旋转烘干机是由郑国绍;李生辉;曾志家设计研发完成，并于2024-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆盒盖板离心清洗旋转烘干机在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆盒盒盖清洗领域，尤其涉及一种晶圆盒盖板离心清洗旋转烘干机，包括清洗槽和设置在清洗槽上方用于密封清洗槽的密封盖，所述清洗槽的底部两端均设有安装架，所述安装架上均固定有气缸，所述气缸的活塞杆端部与密封盖固定连接，所述清洗槽的底部中心固定有电机，所述电机的输出轴与设置在清洗槽内部的定位夹具固定连接，该晶圆盒盖板离心清洗旋转烘干机，清洗槽内的喷头和密封盖内的喷头会分别向上和向下喷水，而且喷头的水能够扩散相当大范围，确保清洗液能够均匀覆盖晶圆盒盒盖的每个角落，确保晶圆盒盒盖得到全方位的清洗，装置内部配备了加热棒，使得清洗后的晶圆盒盒盖能够迅速烘干。
本实用新型一种晶圆盒盖板离心清洗旋转烘干机在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒盖板离心清洗旋转烘干机，其特征在于，包括清洗槽1和设置在清洗槽1上方用于密封清洗槽的密封盖2，所述清洗槽1的底部两端均设有安装架3，所述安装架3上均固定有气缸4，所述气缸4的活塞杆端部与密封盖2固定连接，所述清洗槽1的底部中心固定有电机5，所述电机5的输出轴与设置在清洗槽1内部的定位夹具6固定连接，所述清洗槽1内壁和密封盖2的内侧均安装有若干个喷头7，所述清洗槽1底部和密封盖2的顶部均安装有与喷头7连通的进水管8，所述清洗槽1底部设有排水口9。
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