应用材料公司凯尼克·崔获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于增加来自安瓿的通量的设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110475905B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201880020038.1,技术领域涉及:C23C16/448;该发明授权用于增加来自安瓿的通量的设备是由凯尼克·崔;袁晓雄;姚大平;张镁设计研发完成,并于2018-03-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于增加来自安瓿的通量的设备在说明书摘要公布了:描述了用于半导体制造前驱物的安瓿和使用方法。安瓿包括具有入口端口和出口端口的容器。入口端口在容器内的端部具有喷头。喷头具有至少两个成角度的喷嘴,以引导空腔内的气流,使得气流不垂直于安瓿内的液体的表面。
本发明授权用于增加来自安瓿的通量的设备在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体制造前驱物的安瓿,所述安瓿包含: 容器,具有封闭空腔的底部、多个侧壁和盖; 入口端口,与所述空腔流体连通,所述入口端口具有喷头,所述喷头在位于所述空腔内的所述入口端口的端部上,所述喷头包含至少两个成角度的喷嘴,以引导气流,使得当液体存在于所述容器中时,来自于任意喷嘴的所述气流不垂直于所述液体的表面;及 出口端口,与所述空腔流体连通, 其中所述气流足以扰乱所述液体前驱物的液体气体界面以在所述液体前驱物的所述表面中形成凹坑而不起泡。
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