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龙图腾网恭喜长飞光纤光缆股份有限公司申请的专利一种光掩模基板外形尺寸测量系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115682962B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211255841.8，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种光掩模基板外形尺寸测量系统及方法是由刘经纬;欧阳琛;朱继红;顾立新;张欣;李金祥;黄群亮设计研发完成，并于2022-10-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光掩模基板外形尺寸测量系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光掩模基板外形尺寸测量系统及方法，属于半导体和显示面板光掩模基板制造领域，该系统包括：样品转移单元、样品运动单元及光学测量系统；样品转移单元，用于将被测光掩模基板在待检区域和测试区域间进行转移；样品运动单元，用于配合光学测量系统调整被测光掩模基板的俯仰角度、旋转角度和高度；光学测量系统，用于测量被测光掩模基板的外形尺寸。通过本发明提供一种精度高、重复性高、无损伤、性价比高的光掩模基板外形尺寸测量系统及方法。

本发明授权一种光掩模基板外形尺寸测量系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于光掩模基板外形尺寸测量系统的光掩模基板外形尺寸测量方法，其特征在于，所述光掩模基板外形尺寸测量系统包括：样品转移单元、样品运动单元及光学测量系统，所述样品转移单元，用于将被测光掩模基板在待检区域和测试区域间进行转移；所述样品运动单元，用于配合所述光学测量系统调整被测光掩模基板的俯仰角度、旋转角度和高度；所述光学测量系统，用于测量被测光掩模基板的外形尺寸，所述方法包括：将被测光掩模基板放置于待检区域的样品转移单元上，由样品转移单元将被测光掩模基板夹起移动至测试区域的样品运动单元；在测量被测光掩模基板的边长、顶角角度、顶角半径和倒角直边长度时，控制光学测量系统移动到测量位置，以及控制样品运动单元的俯仰、旋转和升降使被测光掩模基板的外形尺寸位于被测量位置，光学测量系统对被测光掩模基板的正面轮廓进行扫描并采集数据后绘制成正面轮廓点云图像，根据正面轮廓点云图像上各采样点的坐标计算生成光掩模基板边长、顶角角度、顶角半径和倒角直边长度的测量结果；由光学测量系统对被测光掩模基板的厚度进行测量，总厚度变化量根据测量的厚度计算得到；在测量被测光掩模基板标记的尺寸A和尺寸B时，通过样品转移单元将从样品运动单元上抓取被测光掩模基板并翻转180°后重新放回样品运动单元，以使被测光掩模基板背面置于测试区域，由样品运动单元带动被测光掩模基板，配合光学测量系统倾斜至目标角度后，控制光学测量系统扫描标记角轮廓并采集数据后绘制成角轮廓点云图像，根据角轮廓点云图像上各采样点的坐标计算生成被测光掩模基板外形尺寸的测量结果。

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