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龙图腾网恭喜拓荆科技股份有限公司申请的专利晶圆加工设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114334766B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111632328.1，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆加工设备是由李慧;姜宗帅;野沢俊久;张孝勇;周坚;田晓明;李丹设计研发完成，并于2021-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆加工设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆加工设备。该晶圆加工设备包括前端控制装置、装载装置、连接件和传输装置；前端控制装置通过连接件与装载装置连接，传输装置设置于装载装置远离连接件的一侧，传输装置的周向上排布有至少一个反应腔室，反应腔室用于加工晶圆，传输装置用于输送晶圆，装载装置用于暂存晶圆，连接件用于供晶圆通过。本发明的晶圆加工设备通过设置传输装置便于在装载装置、传输装置、反应腔室和前端控制装置之间输送晶圆。在传输装置的周向上排布有至少一个反应腔室，便于对晶圆进行加工处理。通过设置连接件调整传输装置与前端控制装置之间的空间，进而便于对前端控制装置、传输装置以及装载装置的维护，且结构简单、便于实现和使用。

本发明授权晶圆加工设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工设备，其特征在于，包括前端控制装置、装载装置、连接件和传输装置；所述前端控制装置通过所述连接件与所述装载装置连接，所述传输装置设置于所述装载装置远离所述连接件的一侧，所述传输装置的周向上排布有至少一个反应腔室，所述反应腔室用于加工所述晶圆，所述传输装置用于输送晶圆，所述装载装置用于暂存晶圆，所述连接件用于供晶圆通过；所述传输装置上的反应腔室距离所述前端控制装置的安全距离为La1；所述装载装置的长度为Lz1，所述连接件的长度为Li1，所述反应腔室的长度为Lp1，所述传输装置上的反应腔室与所述传输装置的夹角为所述传输装置的反应腔室距离所述前端控制装置的最小距离为Ls1； 且Ls1≥La1；还包括若干第一门阀装置，各个所述第一门阀装置分别设置于各个所述反应腔室与所述传输装置之间，各个所述第一门阀装置分别用于控制各个对应的所述反应腔室与所述传输装置之间的启闭；所述反应腔室与所述传输装置之间设有第一安装部和第二安装部，所述第一安装部设置于靠近所述传输装置的一侧，所述第二安装部设置于靠近所述反应腔室的一侧，所述第一门阀装置包括无阀盒门阀和有阀盒门阀，所述无阀盒门阀设置于所述第一安装部时，所述有阀盒门阀设置于所述第二安装部。

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