买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜中北大学;南通高等研究院申请的专利一种耐超高温气密封装方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114121693B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111361151.6，技术领域涉及：H01L21/60；该发明授权一种耐超高温气密封装方法是由王俊强;张海坤;李孟委设计研发完成，并于2021-11-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种耐超高温气密封装方法在说明书摘要公布了：本发明涉及微电子封装热压键合技术领域，具体是一种耐超高温气密封装方法，包括下列步骤：键合采用金属铂作为键合连接材料，且键合材料不混合其他金属材料；先将衬底底片清洗，然后用气相沉积法制备介质层；经过光刻、溅射、剥离制备底电极；利用沉积法在键合凸点铂金属表面制作纳米铂柱阵列；再将基板浸入己烷硫醇溶液中自主装一层防止铂金属表面氧化的阻隔膜，最后采用激光划片的方式将单个微结构分开；将两个带有密封环，键合凸点的结构放入倒装焊机，经焊机自动对准、加热，加压开始键合，最终使两个结构结合到一起。本发明通过Pt‑Pt直接键合形成无氧真空腔，可以在1500℃左右为石墨烯纳米薄膜材料提供无氧和高温防护。

本发明授权一种耐超高温气密封装方法在权利要求书中公布了：1.一种耐超高温气密封装方法，其特征在于：包括下列步骤：S1、键合采用金属铂作为键合连接材料，且键合材料不混合其他金属材料；S2、先将衬底底片清洗，然后用气相沉积法制备介质层；S3、经过光刻、溅射、剥离制备底电极；S4、利用沉积法在键合凸点铂金属表面制作纳米铂柱阵列；S5、再将基板浸入己烷硫醇溶液中自主装一层防止铂金属表面氧化的阻隔膜，最后采用激光划片的方式将单个微结构分开；S6、将两个带有密封环，键合凸点的结构放入倒装焊机，经焊机自动对准、加热，加压开始键合，最终使两个结构结合到一起；所述衬底采用蓝宝石Al2O3、硅或二氧化硅；所述介质层材料包含10-100nm的SiNX、SiO2材料制备的绝缘层；所述键合的方法采用直接热压键合，所述直接热压键合包括表面活化处理、加热、加压，所述直接热压键合采用倒装焊机；所述表面活化处理方式为干法，所述干法为用200W-400W功率的Ar2或H2气体，处理键合表面的氧化膜，达到活化的目的。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中北大学;南通高等研究院，其通讯地址为：030006 山西省太原市学院路3号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。