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龙图腾网恭喜江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种等离子腔体清洗组件、等离子体处理系统及清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115513021B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110630132.2，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种等离子腔体清洗组件、等离子体处理系统及清洗方法是由李雪冬;刘小波;刘海洋;朱小庆;许开东;陈璐设计研发完成，并于2021-06-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种等离子腔体清洗组件、等离子体处理系统及清洗方法在说明书摘要公布了：本发明属于刻蚀工艺技术领域，具体涉及一种等离子腔体清洗组件、等离子体处理系统及清洗方法，其中：等离子腔体清洗组件包括第一金属电极组、第二金属电极组以及绝缘介质层，第一金属电极组与第二金属电极组相对设置，绝缘介质层设置于第一金属电极组与第二金属电极组之间；等离子腔体清洗组件用于清洗经过刻蚀或镀膜工艺后在腔室内衬内壁上堆积的沉积物。具有等离子腔体清洗组件的等离子体处理系统，向等离子腔体清洗组件引入射频功率，从而使得等离子气体直接撞击在腔室侧壁进行清洗；一种等离子体处理系统的清洗方法，有效去除腔室侧壁上的沉积，从而减少设备的维护时间和成本，提高设备的工艺稳定性和重复性。

本发明授权一种等离子腔体清洗组件、等离子体处理系统及清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子腔体的清洗组件，其特征在于：所述等离子腔体的内侧壁上设有所述清洗组件（9），所述清洗组件（9）包括：第一金属电极组（10）、第二金属电极组（13）以及绝缘介质层（8），其中：所述第一金属电极组（10）包括若干第一金属电极片（11）和第一电极连接部（12），所述第二金属电极组（13）包括若干第二金属电极片（14）和第二电极连接部（15）；以所述等离子腔体的轴向方向为旋转对称轴，若干所述第一金属电极片（11）和若干所述第二金属电极片（14）交叉周向排列，且若干所述第一金属电极片（11）和若干所述第二金属电极片（14）共同围设成与所述等离子腔体周壁随形的结构；若干所述第一金属电极片（11）的顶端均与所述第一电极连接部（12）连接，若干所述第一金属电极片（11）的底端均为自由端；若干所述第二金属电极片（14）的底端均与所述第二电极连接部（15）连接，若干所述第二金属电极片（14）的顶端均为自由端；所述第一金属电极组（10）与所述第二金属电极组（13）之间夹设有所述绝缘介质层（8）。

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