恭喜铠侠股份有限公司细田达矢获国家专利权
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龙图腾网恭喜铠侠股份有限公司申请的专利半导体装置、存储设备、及晶体管的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114203808B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110249966.9,技术领域涉及:H10D64/27;该发明授权半导体装置、存储设备、及晶体管的制造方法是由细田达矢;成田容久设计研发完成,并于2021-03-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体装置、存储设备、及晶体管的制造方法在说明书摘要公布了:实施方式提供一种能够使特性稳定提高的半导体装置、存储设备、及晶体管的制造方法。实施方式的半导体装置具备衬底、衬底上的栅极绝缘膜、积层半导体层、及积层半导体层上或积层半导体层的上方的金属层。积层半导体层具有:第1层,形成在栅极绝缘层上,并且包含掺杂有磷的多晶半导体;第2层,形成在第1层上,并且包含掺杂有碳的多晶半导体;及第3层,形成在第2层上,并且包含掺杂有磷或未掺杂磷的多晶半导体。第3层的磷含量少于第1层的磷含量,或第3层不含磷。
本发明授权半导体装置、存储设备、及晶体管的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体装置,具备:衬底;所述衬底上的栅极绝缘层;积层半导体层,具有:第1层,形成在所述栅极绝缘层上,并且包含掺杂有磷的多晶半导体;第2层,形成在所述第1层上,并且包含掺杂有碳的多晶半导体;及第3层,形成在所述第2层上,并且包含掺杂有磷或未掺杂磷的多晶半导体;以及所述积层半导体层上或所述积层半导体层的上方的金属层;且所述第3层的磷含量少于所述第1层的磷含量,或所述第3层中不含磷。
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