恭喜爱德华兹真空泵有限责任公司E·普里维特获国家专利权
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龙图腾网恭喜爱德华兹真空泵有限责任公司申请的专利减少离子泵中的等离子体形成获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114600224B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080077326.8,技术领域涉及:H01J41/12;该发明授权减少离子泵中的等离子体形成是由E·普里维特;M·H·R·蒂尔利设计研发完成,并于2020-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本减少离子泵中的等离子体形成在说明书摘要公布了:一种离子泵控制器被配置成在泵送的开始期间在增加与减小离子泵的阳极与阴极之间的电位差之间交替多次。
本发明授权减少离子泵中的等离子体形成在权利要求书中公布了:1.一种离子泵控制器,其被配置成在泵送的开始期间在增加与减小离子泵的阳极与阴极之间的电位差之间交替多次,以便限制所述离子泵的泵送室中的等离子体的形成,同时致使所述阳极附近的离子朝向所述阴极移动,其中所述离子泵控制器被配置成在增加与减小所述阳极与阴极之间的所述电位差之间交替,直到满足一条件,并且然后增加所述阳极与阴极之间的所述电位差,直到所述阳极与阴极之间的所述电位差达到目标电位差,所述条件是所述阳极与所述阴极之间的所述电位差是否大于阈值。
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