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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利包含光学探针的电化学沉积系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114174562B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080053306.7，技术领域涉及：C25D17/00；该发明授权包含光学探针的电化学沉积系统是由安德鲁·詹姆斯·普福;尚蒂纳特·小古艾迪;何治安;马尼什·兰詹设计研发完成，并于2020-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本包含光学探针的电化学沉积系统在说明书摘要公布了：一种电化学沉积系统包括：电化学沉积室，其包括用于电化学沉积的电解液；衬底保持器，其被配置成保持衬底并且包括与所述衬底电气连接的第一阴极；第一致动器，其被配置成调整所述衬底保持器在所述电化学沉积室中的竖直位置；阳极，其浸没在所述电解液中；第二阴极，其被配置成在所述第一阴极与所述阳极之间；第一光学探针，其被配置成，当所述衬底被浸没在所述电解液中时，在距离所述衬底的中心第一距离处测量所述衬底的第一反射率；以及控制器，其被配置成在所述电化学沉积的期间，基于所述衬底的所述第一反射率而选择性地调整施加至所述第一阴极的功率、施加至所述第二阴极的功率、施加至所述阳极的功率、以及所述衬底保持器的所述竖直位置中的至少一者。

本发明授权包含光学探针的电化学沉积系统在权利要求书中公布了：1.一种电化学沉积系统，其包括：电化学沉积室，其包括用于电化学沉积的电解液；衬底保持器，其被配置成保持衬底并且包括与所述衬底电气连接的第一阴极；第一致动器，其被配置成调整所述衬底保持器在所述电化学沉积室中的竖直位置；阳极，其浸没在所述电解液中；第二阴极，其被配置成在所述第一阴极与所述阳极之间；第一光学探针，其被配置成在所述电化学沉积的期间，当所述衬底被浸没在所述电解液中时，在距离所述衬底的中心第一距离处测量所述衬底的第一反射率；以及控制器，其被配置成在所述电化学沉积的期间，基于所述衬底的所述第一反射率而选择性地调整i施加至所述第一阴极的功率、ii施加至所述第二阴极的功率、iii施加至所述阳极的功率、以及iv所述衬底保持器的所述竖直位置中的至少一者。

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