广东先导微电子科技有限公司王滔获国家专利权
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龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种晶棒上料装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222972529U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420891562.9,技术领域涉及:B28D7/04;该实用新型一种晶棒上料装置是由王滔;周铁军设计研发完成,并于2024-04-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶棒上料装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种晶棒上料装置,涉及半导体衬底材料制造技术领域,包括装置主体、位移驱动机构以及载具;载具可拆卸地滑动安装于装置主体,用于装载晶棒;位移驱动机构安装于装置主体,且与载具连接,用于驱动载具滑动。将载具装于装置主体上并与位移驱动机构连接,再通过位移驱动机构驱动载具来回移动,即可实现将载具与晶棒一同装入线锯切割机,降低人工操作强度。待载具与晶棒装入线锯切割机后即可解除载具与位移驱动机构的连接,从而取下装置主体,完成上料。上述设计能够提升上料效率,降低人员劳动强度,提升作业安全性。
本实用新型一种晶棒上料装置在权利要求书中公布了:1.一种晶棒上料装置,其特征在于,包括装置主体1、位移驱动机构3以及载具2; 所述载具2可拆卸地滑动安装于所述装置主体1,用于装载晶棒4; 所述位移驱动机构3安装于所述装置主体1,且与所述载具2连接,用于驱动所述载具2滑动。
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