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中国科学院西安光学精密机械研究所;中国人民解放军63768部队冯方获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院西安光学精密机械研究所;中国人民解放军63768部队申请的专利具有实时对准功能的光学系统波前拼接检测方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115901192B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211670890.8,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权具有实时对准功能的光学系统波前拼接检测方法及装置是由冯方;鄂可伟;薛勋;尹南;韩振兴;田留德;刘尚阔;严翔宇设计研发完成,并于2022-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

具有实时对准功能的光学系统波前拼接检测方法及装置在说明书摘要公布了:本发明提供了一种具有实时对准功能的光学系统波前拼接检测方法及装置,用于解决现有的大口径光学系统波前检测精度不高的技术问题。本发明的检测方法为:根据CCD探测器探测到的干涉条纹对待测光学系统进行调节,实时对准并校正哈特曼波前传感器测量得到的待测光学系统波前信息;通过改进的Southwell模型波前重构算法对哈特曼波前传感器采集的图像实现待测光学系统的波前重构;根据哈特曼波前传感器获得的不同子孔径的波前相位信息,先将相邻两个子孔径有重叠区域的数据重新分配到非重叠区域上,再采用最大似然估计扫描拼接算法实现子孔径的拼接,得到拟合的待测光学系统全口径波前数据,大幅度提高了大口径光学系统的波前检测精度。

本发明授权具有实时对准功能的光学系统波前拼接检测方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种具有实时对准功能的光学系统波前拼接检测方法,其特征在于,包括以下步骤: 1】将经扩束准直的激光分光为参考光束和探测光束两路;探测光束入射至待测光学系统11,对其波前通过子孔径进行扫描,获得携带待测光学系统11当前子孔径相位信息的物光光束;将物光光束分为两路,一路与参考光束合束后入射至CCD探测器8,另一路入射至哈特曼波前传感器9; 2】CCD探测器8与哈特曼波前传感器9同时探测待测光学系统11当前子孔径的波前相位信息;根据CCD探测器8靶面探测到的干涉条纹对待测光学系统11当前子孔径的平移量、倾斜量及高阶像差进行调节,使待测光学系统11当前子孔径的相位信息与哈特曼波前传感器9的探测图像实现实时对准; 3】通过改进的Southwell模型波前重构算法对哈特曼波前传感器9采集的待测光学系统11当前子孔径的图像实现波前重构; 所述改进的Southwell模型波前重构算法为采用格栅点i,j周围的四个格栅点i,j-1、i,j+1、i-1,j、i+1,j处的斜率来估计格栅点i,j处的相位值; 4】对待测光学系统11的各子孔径沿s形轨迹逐一扫描,每扫描一个子孔径,则重复步骤2-步骤3,直至使扫描轨迹遍历整个待测光学系统11的通光口径,以采集不同位置的波像差,获得待测光学系统11各子孔径的波前重构; 5】对步骤4获得的待测光学系统11各子孔径的波前重构信息进行全口径波前拼接,若相邻子孔径之间不存在重叠区域,则直接采用改进的最大似然估计扫描拼接算法实现相邻子孔径的拼接;若相邻子孔径之间存在重叠区域,则先将重叠区域的数据重新分配到非重叠区域上,再采用改进的最大似然估计扫描拼接算法实现相邻子孔径的拼接;采用改进的最大似然估计扫描拼接算法得到拟合的待测光学系统11全口径波前数据W为: 其中,Ap为Zernike多项式系数,Zp为Zernike多项式的第p项,p=4,5,…m,ρa为测量点在极坐标下的半径坐标,θa为测量点在极坐标下的角坐标。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院西安光学精密机械研究所;中国人民解放军63768部队,其通讯地址为:710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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