恭喜华海清科股份有限公司孙传恽获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜华海清科股份有限公司申请的专利用于晶圆处理的供给通道的清洗方法、装置和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114999964B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210677960.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于晶圆处理的供给通道的清洗方法、装置和系统是由孙传恽;郑树茂;路新春设计研发完成，并于2022-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于晶圆处理的供给通道的清洗方法、装置和系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于晶圆处理的供给通道清洗方法、装置和系统，其中方法包括：第一清洗步骤，在所述供给通道充满化学液之后，采用滴液的方式将化学液通入所述供给通道，以实现对所述供给通道的动态浸泡，从而溶解污染物；第二清洗步骤，所述第一清洗步骤执行一段时间之后，向所述供给通道通入清洗液进行冲洗；按照实际需求重复所述第一清洗步骤和所述第二清洗步骤。
本发明授权用于晶圆处理的供给通道的清洗方法、装置和系统在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆处理的供给通道的清洗方法，其特征在于，包括： 第一清洗步骤，在所述供给通道充满化学液之后，采用滴液的方式将化学液通入所述供给通道，以实现对所述供给通道的动态浸泡，从而溶解污染物； 第二清洗步骤，所述第一清洗步骤执行一段时间之后，向所述供给通道通入清洗液进行冲洗； 按照实际需求重复所述第一清洗步骤和所述第二清洗步骤； 所述化学液为SC1化学液，所述化学液的滴液频率为50~130滴分钟，所述化学液的动态浸泡的时间为1~10小时； 所述清洗液为DIW去离子水，流量为0.4~0.6MPa，冲洗的时间为6~14小时； 所述供给通道的材质为塑料。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华海清科股份有限公司，其通讯地址为：300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号