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龙图腾网恭喜三河建华高科有限责任公司申请的专利一种半导体设备用晶圆运输机械手获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114927451B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210611267.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种半导体设备用晶圆运输机械手是由毛善高;芦刚;李伯汉设计研发完成，并于2022-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体设备用晶圆运输机械手在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体设备用晶圆运输机械手，包括机械手气动θ向旋转机构，所述机械手气动θ向旋转机构包括底座，所述底座上连接设有导轨定位移动模组，所述导轨上连接设有转轴模组，所述机械手气动θ向旋转机构上连接设有机械手电动Z向抬升机构，所述机械手电Z向抬升机构包括固定基座，所述固定基座上连接设有抬升基座，所述滑块上连接设有安装板，所述安装板上连接设有机械手真空取晶圆机构，所述机械手真空取晶圆机构包括机械手安装基座，所述机械手安装基座上连接设有活动吸盘，所述真空锁紧槽内连接设有机械手吸盘锁紧机构。本发明与现有技术相比优点在于：结构新颖、设计合理、工作效率高。

本发明授权一种半导体设备用晶圆运输机械手在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备用晶圆运输机械手，其特征在于：包括机械手气动θ向旋转机构1，所述机械手气动θ向旋转机构1包括底座2，所述底座2上连接设有气缸法兰3，所述气缸法兰3上连接设有气缸4，所述底座2上连接设有导轨定位移动模组5，所述导轨定位移动模组5包括导轨6，所述导轨6上活动连接设有导轨滑块7，所述导轨6上连接设有转轴模组8，所述转轴模组8包括轴承座9，所述轴承座9上转动连接设有转轴10，所述机械手气动θ向旋转机构1上连接设有机械手电动Z向抬升机构11，所述机械手电动Z向抬升机构11包括固定基座12，所述固定基座12上连接设有抬升基座13，所述抬升基座13下方与转轴10连接，所述抬升基座13上连接设有电机安装座14，所述电机安装座14上连接设有电机15，所述抬升基座13侧面连接设有定位导轨16，所述定位导轨16上连接设有滑块17，所述电机安装座14上连接设有滚珠丝杠模组18，所述滚珠丝杠模组18包括滚珠丝杠19，所述滚珠丝杠19与电机15的输出端连接，所述滚珠丝杠19上活动套接设有丝杠滑块20，所述丝杠滑块20与滑块17连接，所述滑块17上连接设有安装板21，所述安装板21上连接设有机械手真空取晶圆机构22，所述机械手真空取晶圆机构22包括机械手安装基座23，所述机械手安装基座23上连接设有活动吸盘24，所述活动吸盘24上设有真空环槽25和真空锁紧槽26，所述真空锁紧槽26内连接设有机械手吸盘锁紧机构27，所述机械手吸盘锁紧机构27包括薄型气缸28，所述薄型气缸28安装在机械手安装基座23上，所述薄型气缸28上连接设有弹簧29，所述弹簧29上连接设有锁紧杠杆30，所述锁紧杠杆30上连接设有锁紧顶柱31。

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