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龙图腾网恭喜三河建华高科有限责任公司申请的专利接近接触式全自动曝光机有切边晶圆的预对准机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114792643B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210460961.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权接近接触式全自动曝光机有切边晶圆的预对准机构是由周占福;芦刚;王振宇;葛昕东设计研发完成，并于2022-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本接近接触式全自动曝光机有切边晶圆的预对准机构在说明书摘要公布了：本发明提供了一种接近接触式全自动曝光机有切边晶圆的预对准机构，包括晶圆升降组件、晶圆旋转组件、晶圆定心组件。本发明为了晶圆切边确定，在晶圆边缘正上方安装一个显微镜，对实现粗定心真空吸附后升起一个高度，这时显微镜能够清楚观察晶圆边缘的外貌特征，旋转电机旋转带动接片吸盘和晶圆一起旋转，当显微镜观察到晶圆切边时，旋转电机停止旋转，接片吸盘断真空，然后两个夹持气缸运动，对晶圆进行夹持，精密确定晶圆切边的位置，打开接片吸盘真空，真空吸附晶圆，打开夹持机构，接片吸盘上升上极限位置，等待机械手取走定位好的晶圆，效果显著，能够实现晶圆切边精密定位，性能稳定，价格便宜，使用方便，应用范围广。

本发明授权接近接触式全自动曝光机有切边晶圆的预对准机构在权利要求书中公布了：1.一种接近接触式全自动曝光机有切边晶圆的预对准机构，包括晶圆升降组件40、晶圆旋转组件50、晶圆定心组件60、晶圆夹持组件70和显微镜25，其特征在于：所述晶圆升降组件40包括下底板1、电机座2、升降电机3、第一齿形带轮4、齿形带5、第二齿形带轮6、丝杠支撑座7、丝杠8、导轨底板9、丝杠母11、导轨滑块副12、连接块13、丝杠支座16； 所述下底板1的上表面开设有方形通孔34，所述方形通孔34的内侧壁贴合于所述升降电机3的外侧壁，所述下底板1的下表面安装于所述电机座2的上表面，所述的电机座2的内侧底壁安装于所述升降电机3的下表面，所述升降电机3的输出轴贯穿于所述电机座2的内侧底壁且安装于所述第一齿形带轮4的上表面，所述第一齿形带轮4的外侧壁贴合于所述齿形带5的内侧壁，所述齿形带5的内侧壁贴合于所述第二齿形带轮6的外侧壁，所述丝杠8的外侧壁通过轴承转动连接于所述丝杠支撑座7的内侧壁，所述丝杠支撑座7的外侧壁贯穿于所述下底板1的上表面，所述丝杠8的底端安装于所述第二齿形带轮6的上表面，所述下底板1的上表面安装于所述导轨底板9的下表面，所述导轨底板9的上表面安装于所述丝杠支座16的下表面，所述丝杠8的顶端通过轴承转动连接于所述丝杠支座16的下表面，所述丝杠母11的内侧壁螺纹连接于所述丝杠8的外侧壁，所述丝杠母11的外侧壁安装于所述连接块13的内侧壁； 所述晶圆升降组件40的上表面安装有晶圆旋转组件50，所述晶圆旋转组件50的上表面安装有晶圆定心组件60，所述晶圆定心组件60包括支撑方形板17、上盖板18、定心漏斗28； 所述支撑方形板17共设置四个，所述下底板1的上表面相互对称安装于四个所述支撑方形板17的下表面，所述支撑方形板17的上表面安装于所述上盖板18的下表面，所述上盖板18的上表面安装于所述定心漏斗28的下表面； 所述晶圆旋转组件50的上表面安装有晶圆夹持组件70，所述晶圆夹持组件70包括连接板19、气缸20、后支撑板21、芯轴22、定位套23、前支撑板27、轴承本体32、气缸底板33； 所述气缸底板33共设置两个，两个所述气缸底板33的下表面安装于所述上盖板18的上表面，所述气缸底板33的上表面安装于所述气缸20的下表面，所述气缸20的活塞杆安装有两个连接板19，两个所述连接板19相邻的一侧分别安装于所述后支撑板21与所述前支撑板27相斥的一侧，所述芯轴22共设置四个，所述后支撑板21与所述前支撑板27的上表面分别对称活动安装于两个所述芯轴22的底端，所述芯轴22的外侧壁安装有轴承本体32，所述定心漏斗28的上表面安装于所述定位套23的下表面。

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