恭喜华东师范大学田博博获国家专利权
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龙图腾网恭喜华东师范大学申请的专利一种可编程垂直肖特基结的两端铁电存储器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113964134B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111090073.0,技术领域涉及:H10B51/30;该发明授权一种可编程垂直肖特基结的两端铁电存储器及其制备方法是由田博博;冯光迪;朱秋香;褚君浩;段纯刚设计研发完成,并于2021-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可编程垂直肖特基结的两端铁电存储器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种可编程垂直肖特基结的两端铁电存储器及其制备方法,其特点是在铁电层上下制备不同功函数的电极,然后用氩气或者氧气刻蚀掉多余的铁电薄膜,并最后在上下电极之间制作半导体沟道,所述电极为金、银、铜、铝、铟锡氧化物等一组功函数相差较大导体;所述铁电层为有机铁电和陶瓷铁电等;所述半导体为N型或者P型半导体。本发明与现有技术相比具有良好的整流和阻变特性,具有耐疲劳、保持性好、高密度等优点,制备方法和操作步骤简单,成本低,易于实施,且安全、环保,较好解决了铁电隧道结较差的疲劳性、铁电随机存储器的破坏性读取,以及三端器件复杂的工艺和集成密度低等严重的问题,可广泛用于内存计算的可编程应用。
本发明授权一种可编程垂直肖特基结的两端铁电存储器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种可编程垂直肖特基结的两端铁电存储器,其特征在于,铁电层位于上、下电极之间,并在两电极之间制作N型或P型的半导体沟道,形成通过铁电局域场调控的垂直结构的铁电场效应二极管为可编程的两端铁电存储器,所述电极采用铂、铝、金、银、铜、铝金属材料或铟锡氧化物材料,且上、下电极为一组导体;所述铁电层为有机铁电层或陶瓷铁电层;所述半导体为ZnO、IGZO、CuI及有机物半导体材料。
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