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龙图腾网恭喜长鑫存储技术有限公司申请的专利关键尺寸的控制方法与控制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115729046B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111004336.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权关键尺寸的控制方法与控制系统是由张君君;钞付芳;吴志民设计研发完成，并于2021-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本关键尺寸的控制方法与控制系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种关键尺寸的控制方法与控制系统，该控制方法包括：建立光刻胶的曝光剂量与关键尺寸变异值的对应关系的第一数据库；获取关键尺寸的实际变异值，根据实际变异值与第一数据库，获取曝光剂量的第一修正量；建立光刻胶的烘烤与显影之间的等待时间与关键尺寸变异值的对应关系的第二数据库；预设烘烤与显影之间的标准延迟时间，获取光刻胶烘烤与显影之间的实际等待时间，并确定实际等待时间与标准延迟时间之间的时间差值；根据时间差值与第二数据库，获取关键尺寸的补偿变异值；根据补偿变异值与第一数据库，获取曝光剂量的第二修正量；根据第一修正量与第二修正量，修正光刻胶的曝光剂量；根据修正后的曝光剂量，进行关键尺寸的调整。

本发明授权关键尺寸的控制方法与控制系统在权利要求书中公布了：1.一种关键尺寸的控制方法，其特征在于，包括： 建立光刻胶的曝光剂量与关键尺寸变异值的对应关系的第一数据库； 获取关键尺寸的实际变异值，根据所述实际变异值与所述第一数据库，获取曝光剂量的第一修正量； 建立光刻胶的烘烤与显影之间的等待时间与关键尺寸变异值的对应关系的第二数据库； 预设所述烘烤与显影之间的标准延迟时间，获取光刻胶烘烤与显影之间的实际等待时间，并确定所述实际等待时间与所述标准延迟时间之间的时间差值； 根据所述时间差值与第二数据库，获取关键尺寸的补偿变异值； 根据所述补偿变异值与所述第一数据库，获取曝光剂量的第二修正量； 根据所述第一修正量与所述第二修正量，修正光刻胶的曝光剂量； 根据修正后的曝光剂量，进行关键尺寸的调整。

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