恭喜罗茵尼公司A·哈斯卡获国家专利权
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龙图腾网恭喜罗茵尼公司申请的专利通过微调节提高半导体器件转移速度的方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114664715B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210311959.1，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权通过微调节提高半导体器件转移速度的方法和装置是由A·哈斯卡;C·彼得森;J·温特;L·杜宾设计研发完成，并于2019-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本通过微调节提高半导体器件转移速度的方法和装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于执行将半导体器件管芯从第一衬底直接转移到第二衬底的装置。所述装置包括能够在两个轴上移动的第一衬底传送机构。微调节机构与所述第一衬底传送机构联接并且被构造成保持所述第一衬底并进行位置调节，所述位置调节的尺度小于由所述第一衬底传送机构引起的位置调节。所述微调节机构包括：微调节致动器，所述微调节致动器具有远侧端部；以及第一衬底保持器框架，所述第一衬底保持器框架能够经由与所述微调节致动器的所述远侧端部接触而移动。第二框架被构造成固定所述第二衬底，使得转移表面被设置成面向设置在所述第一衬底的表面上的所述半导体器件管芯。转移机构被构造成压住所述半导体器件管芯使其与所述衬底的所述转移表面接触。
本发明授权通过微调节提高半导体器件转移速度的方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种转移半导体器件管芯的方法，包括： 确定将设置在第一衬底上的半导体器件管芯转移到第二衬底的转移位置； 至少部分地基于所述转移位置确定第一衬底和第二衬底的对准位置； 至少部分地基于所述对准位置，将第一衬底或第二衬底中的至少一个经由第一传送机构移动一主要距离，所述第一传送机构配置为实施主要移动； 确定与在所述对准位置对准第一衬底和第二衬底相关联的一个或多个微位置调节； 至少部分地基于所述一个或多个微位置调节，将第一衬底或第二衬底中的至少一个经由第二传送机构移动到所述对准位置，所述第二传送机构配置为实施次要移动；以及 将半导体器件管芯从第一衬底转移到第二衬底， 其中所述次要移动为比所述主要移动更小尺度的移动。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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