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龙图腾网恭喜创微微电子(常州)有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司申请的专利载体摆动机构和处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113097110B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110402756.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权载体摆动机构和处理设备是由左国军;申斌;饶相松;成旭;李雄朋;陈雷;任金枝设计研发完成，并于2021-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本载体摆动机构和处理设备在说明书摘要公布了：本发明的实施例提供了一种载体摆动机构和处理设备，其中载体摆动机构包括：摆动平台，摆动平台的底部设有摆动轴；动力组件；传动组件，传动组件的两端分别连接动力组件和摆动平台，动力组件用于通过传动组件带动摆动平台绕摆动轴摆动。本发明的技术方案中，动力组件能够通过传动组件驱动摆动平台摆动，即摆动平台能够相对处理槽进行摆动，放置在摆动平台上的待处理件可以按要求做往复的倾斜角度变化，使待处理件在处理槽内能够按预设方向倾斜，从而达到动态清洗的目的，这种方式可以在很大程度上消除清洗干燥死区，提升清洗效果及清洗效率。

本发明授权载体摆动机构和处理设备在权利要求书中公布了：1.一种载体摆动机构，其特征在于，包括： 摆动平台112，设于处理设备的处理槽240内，所述摆动平台112的底部设有摆动轴1121； 动力组件130； 传动组件120，所述传动组件120的两端分别连接所述动力组件130和所述摆动平台112， 其中，所述动力组件130用于通过所述传动组件120带动所述摆动平台112绕所述摆动轴1121摆动； 所述传动组件120包括： 传动杆121，所述传动杆121的一端与所述摆动平台112转动连接，所述传动杆121的另一端与所述动力组件130相连； 所述动力组件130驱动所述传动杆121沿轴向运动，进而带动所述摆动平台112进行往复摆动； 所述动力组件130包括： 驱动部137，所述驱动部137连接于所述传动组件120远离所述摆动平台112的一端，用于驱动所述传动组件120带动摆动平台112摆动； 所述动力组件130还包括与所述传动组件120相连的第二滑动组件138；所述动力组件130还包括与所述传动组件120远离所述摆动平台112一端相连的限位部131；所述第二滑动组件138的第一连接部134与所述限位部131远离所述传动组件120的一端相连； 所述驱动部137包括第一驱动部1371和第二驱动部1372；所述第一驱动部1371带动所述限位部131进而带动所述传动组件120沿第一方向运动；所述第二驱动部1372带动所述限位部131进而带动所述传动组件120沿第二方向运动。

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