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恭喜拓荆科技股份有限公司谭华强获国家专利权

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龙图腾网恭喜拓荆科技股份有限公司申请的专利保护机构及保护晶圆和销的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114695234B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011642970.3,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权保护机构及保护晶圆和销的方法是由谭华强;尹艳超设计研发完成,并于2020-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

保护机构及保护晶圆和销的方法在说明书摘要公布了:本申请提供一种保护机构及保护晶圆和销的方法。该保护机构包括:驱动器;直线单元,其连接至驱动器,以在驱动器的作用下使得销顶出晶圆;扭力计,其用于在销顶出晶圆的过程中测量保护机构的力矩;控制模块,其接收来自扭力计所测量的力矩,并将力矩与预定值进行比较。扭力计设置于驱动器和直线单元之间。该保护机构能够实时、有效地测量在顶出晶圆的过程所产生的力矩,并能够据此来判断出顶出过程是否出现异常,从而有效防止晶圆破裂或者销钉断裂等事故的发生。

本发明授权保护机构及保护晶圆和销的方法在权利要求书中公布了:1.一种保护机构,包括: 驱动器1; 直线单元2,其连接至所述驱动器1,以在所述驱动器1的作用下使得销20顶出晶圆10; 扭力计3,其用于在所述销20顶出所述晶圆10的过程中测量所述直线单元2的力矩; 控制模块4,其接收来自所述扭力计3所测量的力矩,并将所述力矩与预定值进行比较,其中,所述预定值为由所述扭力计3预先测量的、在所述晶圆10被正常顶出时的基准力矩,其随着所述销20离开原始位置的距离而线性下降,其中:如果所述力矩超出所述预定值的可允许范围,则所述控制模块4发出报警信号和或使所述驱动器1停止驱动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人拓荆科技股份有限公司,其通讯地址为:110179 辽宁省沈阳市浑南区水家900号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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