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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利输送系统和输送方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112992640B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011388507.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权输送系统和输送方法是由杉田吉平;永井健治设计研发完成，并于2020-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本输送系统和输送方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种输送系统和输送方法。输送聚焦环的输送系统包括处理系统和位置检测系统，处理系统包括：处理装置，其具有腔室主体和包含基片载置区域及聚焦环载置区域的载置台；以及能够输送聚焦环的输送装置，位置检测系统包括：光源；构成为使光出射并且供反射光入射的多个光学元件；驱动部，其构成为使光学元件分别移动以扫描从聚焦环至基片载置区域为止的扫描范围；和控制部，其构成为按每个光学元件，基于扫描范围内的反射光计算聚焦环与载置台的位置关系，输送装置构成为基于计算出的位置关系来调节将聚焦环输送到聚焦环载置区域上的位置。根据本发明，能够提供高精度地输送聚焦环的技术。

本发明授权输送系统和输送方法在权利要求书中公布了：1.一种向处理装置输送聚焦环的输送系统，其特征在于： 所述输送系统包括输送装置和位置检测系统， 所述处理装置具有： 腔室主体；和 载置台，其设置于由所述腔室主体提供的腔室内，包含基片载置区域和包围所述基片载置区域的聚焦环载置区域， 所述输送装置构成为能够将所述聚焦环输送到所述聚焦环载置区域上， 所述位置检测系统包括： 构成为能够产生测量光的光源； 多个光学元件，其构成为使所述光源所产生的所述测量光作为出射光出射并且供反射光入射； 驱动部，其构成为使所述光学元件分别移动，以扫描从支承于所述聚焦环载置区域的所述聚焦环至所述基片载置区域为止的扫描范围；和 控制部，其构成为按每个所述光学元件，基于所述扫描范围内的所述反射光来计算支承于所述聚焦环载置区域的所述聚焦环与所述载置台的位置关系， 所述输送装置构成为基于由所述控制部计算出的所述位置关系来调节将所述聚焦环输送到所述聚焦环载置区域上的位置。

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