恭喜拓荆科技股份有限公司谭华强获国家专利权
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龙图腾网恭喜拓荆科技股份有限公司申请的专利可提供吹扫气体的晶圆处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113838770B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010588838.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权可提供吹扫气体的晶圆处理装置是由谭华强设计研发完成，并于2020-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本可提供吹扫气体的晶圆处理装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆处理装置，包含：一或多个处理站，所述处理站包含一上盖、一隔离环及一喷淋组件，其中该隔离环安置于该上盖与该喷淋组件之间，其特征在于该上盖、该隔离环及该喷淋组件共同形成所述处理站的一吹扫气体路径，该吹扫气体路径用于形成一流动帘于该处理站。
本发明授权可提供吹扫气体的晶圆处理装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆处理装置，其特征在于，包含： 一或多个处理站，所述处理站包含一上盖、一隔离环及一喷淋组件，其中该隔离环安置于该上盖与该喷淋组件之间，该上盖、该隔离环及该喷淋组件共同形成所述处理站的一吹扫气体路径，该吹扫气体路径用于形成一流动帘于该处理站； 其中，该吹扫气体路径包含： 一第一连接路径，横向延伸于该上盖中； 一第一扩散通道，连通该第一连接路径并环绕该隔离环； 一第二扩散通道，环绕该喷淋组件； 一第二连接路径，连通该第一扩散通道与该第二扩散通道； 一第三连接路径，连通该第二扩散通道与所述处理站的一处理区域； 其中，该吹扫气体进入所述上盖后先沿所述第一连接路径横向传输、于第一扩散通道环形扩散，并越过所述隔离环的上部后向下传输并于所述第二扩散通道扩散。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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